本應用筆記探討了MEMS（微機電系統(tǒng)）技術在標準實時時鐘（RTC）中相對于標準晶體技術的優(yōu)勢。最明顯的優(yōu)勢是尺寸。還討論了MEMS技術優(yōu)越的其他領域-CMOS工藝和開發(fā)，制造與組裝以及環(huán)境耐用性
2021-05-13 07:50:00
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進行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的，膜沉積的測量范圍從幾納米到一微米。
2022-10-11 09:12:591193 MEMS傳感器在各類電子產(chǎn)品上快速普及，我們身邊的智能手機、平板電腦等幾乎所有電子設備無不包含，然而大部分人對MEMS技術還是比較陌生的。 MEMS技術的應用主要有傳感器和執(zhí)行器兩部分，本文
2023-08-21 17:23:164251 
MEMS傳感器是當今最炙手可熱的傳感器制造技術，也是傳感器小型化、智能化的重要推動了，MEMS技術促進了傳感器的極大發(fā)展。
2023-11-05 10:13:46633 
層，該多晶硅層被圖案化為可移動的機械結(jié)構(gòu)，并通過犧牲性蝕刻下面的氧化物層來釋放。叉指式梳狀電極用于產(chǎn)生平面內(nèi)力并以電容方式檢測平面內(nèi)運動。這種MEMS范例使制造低成本的加速度計成為可能適用于例如汽車
2021-01-05 10:33:12
顧兩種技術的基礎知識，比較它們的差異并貫穿每種解決方案的優(yōu)勢。MEMS麥克風MEMS麥克風采用MEMS元件安裝在印刷電路板（PCB）上并由機械覆蓋物保護， 機殼內(nèi)加工了一個小孔，可以讓聲音進入設備。此孔
2019-02-23 14:05:47
ADI公司產(chǎn)品營銷工程師Max Liberman和業(yè)務開發(fā)經(jīng)理Bob Scannell在工業(yè)制造運營中，被動的設備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個主要因素，這種維修本來是可以避免的。平均售價僅幾美元
2018-10-17 10:34:00
ADI公司產(chǎn)品營銷工程師Max Liberman和業(yè)務開發(fā)經(jīng)理Bob Scannell在工業(yè)制造運營中，被動的設備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個主要因素，這種維修本來是可以避免的。平均售價僅幾美元
2018-10-18 11:35:34
ADI公司產(chǎn)品營銷工程師Max Liberman和業(yè)務開發(fā)經(jīng)理Bob Scannell在工業(yè)制造運營中，被動的設備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個主要因素，這種維修本來是可以避免的。平均售價僅幾美元
2018-10-24 10:42:46
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，以半導體制造技術為
2016-12-09 17:46:21
的微型器件研究，還有很多創(chuàng)新工作要做，不然就會面臨發(fā)展停滯的風險。技術優(yōu)勢：用MEMS工藝制造傳感器、執(zhí)行器或者微結(jié)構(gòu)， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點， 產(chǎn)能高，良品率
2018-11-12 10:51:35
、機械和熱屬性都非常出色。此外，半導體廠商還意識到，如果使用成熟的芯片量產(chǎn)制造技術，在晶片上一次可以制造數(shù)以萬計的MEMS器件。這就是說，MEMS可以利用微電子器件現(xiàn)有的規(guī)模經(jīng)濟，獲得更大的成本優(yōu)勢
2018-10-31 16:56:44
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術建立在微米/納米基礎上，是對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
微小。采用以硅為主的材料，采用與集成電路（IC）類似的生成技術，可大量利用IC生產(chǎn)中的成熟技術、工藝，進行大批量、低成本生產(chǎn)，使性價比相對于傳統(tǒng)“機械”制造技術大幅度提高。完整的MEMS是由微傳感器
2018-09-07 15:24:09
據(jù)麥姆斯咨詢介紹，物聯(lián)網(wǎng)（IoT）可以利用MEMS的幾個核心功能和優(yōu)勢，MEMS器件可以有效地滿足許多物聯(lián)網(wǎng)應用的要求：
2020-12-23 07:09:36
設計流程中都必須對封裝策略和如何折中進行考慮和給與極大的關注。許多MEMS產(chǎn)品供應商都會把產(chǎn)品封裝作為進行市場競爭的主要產(chǎn)品差異和競爭優(yōu)勢。封裝選擇規(guī)則設計MEMS器件的封裝往往比設計普通集成電路的封裝
2010-12-29 15:44:12
很小，能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數(shù)百GHz信號，有望徹底改變電子系統(tǒng)的實現(xiàn)方式。這種性能優(yōu)勢會對大量不同的設備和應用產(chǎn)生重要影響。在MEMS開關技術的幫助下，很多領域都將達到前所未有
2018-10-17 10:52:05
在通信領域上亦憑借超低損耗、高隔離度、成本低等優(yōu)勢在手機上得到應用。然而RF MEMS開關普遍存在驅(qū)動電壓高、開關時間長的問題，劣于FET場效應管開關和PIN二極管開關。相對于國外已取得的成果，國內(nèi)的研究尚處于起步階段。下文將針對MEMS開關的缺陷做一些改進。
2019-07-29 07:57:25
意法半導體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價格配合卓越的產(chǎn)品性能，讓意法半導體迅速擴大了在消費電子MEMS傳感器市場的份額。公司在MEMS技術特性上實現(xiàn)了兩全其美：更小尺寸、更低價格、更高
2019-11-05 06:19:06
電系統(tǒng)（MEMS），在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術，或在日本被稱為微機械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微米——1微米可是要比人們頭發(fā)的直徑小很多?！ ?b class="flag-6" style="color: red">MEMS
2018-11-07 11:00:01
哪位大佬可以詳細介紹下MEMS技術到底是什么
2020-11-25 07:23:59
了安全、快速、衛(wèi)生、無痛、無創(chuàng)的胃部舒適檢查新時代。傳統(tǒng)胃鏡檢查對患有胃部疾病的人來說簡直如同噩夢，而采用MEMS技術制作的膠囊胃鏡，采用自然吞服的方式，極大減輕痛苦，其內(nèi)置高清攝像頭，可在體內(nèi)全方位
2018-10-15 10:47:43
，這是修修補補的改造所不能實現(xiàn)的效果。由于MEMS振蕩器的實現(xiàn)原理完全不同于以往的石英晶振，因此它可以克服現(xiàn)有石英晶振的很多先天劣勢。具體總結(jié)如下：由采用全硅MEMS技術所帶來的優(yōu)勢，下面從體積到性能
2016-06-04 10:18:38
微機電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設計和構(gòu)造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應用，涉及各種細分市場。在眾多細分市場中，價格降低、準確度要求提高和快速面市需求將對設計和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應對這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效，另一方面，日益發(fā)展的IC制造技術可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。MEMS
2019-06-24 06:27:01
作者：Mark Looney簡介MEMS加速度計終于達到了能夠測量廣泛機器平臺振動的階段。其最近的能力進步，加上MEMS加速度計已有的相對于傳統(tǒng)振動傳感器的諸多優(yōu)勢（尺寸、重量、成本、抗沖擊性
2019-07-22 06:31:06
還有用于醫(yī)療(如藥品傳送)的微型泵和微型閥等，這些MEMS器件特別細小，甚至可以植入人體。目前MEMS并不都僅僅處于實驗室階段，有的已進入實用場合，例如已有制造廠商完成了MEMS光學系統(tǒng)的商品化，該系
2014-08-19 15:50:19
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:52 編輯
MEMS陀螺儀的原理與應用優(yōu)勢分析
2012-08-14 22:49:36
MEMS麥克風制造的推薦焊接參數(shù)（即焊膏厚度）是多少？以上來自于谷歌翻譯以下為原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16:47
2. MEMS麥克風的SEM圖像圖3. MEMS麥克風的橫截面由于幾何結(jié)構(gòu)在制造工藝中受到嚴格控制，因此不同麥克風的實測性能具有高度可重復性。利用MEMS技術構(gòu)建麥克風的另一個優(yōu)勢是薄膜極小，因此其
2019-11-05 08:00:00
導讀：傳感器性能對MEMS和ASIC參數(shù)的高度依賴性表明，閉環(huán)傳感器的系統(tǒng)級設計需要做大量的折衷考慮，其中的ASIC噪聲預算、激勵電壓、功耗和技術都高度依賴于MEMS參數(shù)。 微機械式慣性傳感器
2018-12-05 15:12:05
加工工藝技術，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)（如周期、光柵等常數(shù)）發(fā)生改變，從而實時改變光柵的工作性能，實現(xiàn)光柵的可編程應用?；谄洫毺氐?b class="flag-6" style="color: red">優(yōu)勢，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域
2016-08-04 15:08:50
DMA方式輸出的優(yōu)勢是什么？
2021-11-25 08:01:02
近日，麻省理工學院微系統(tǒng)技術實驗室的研究人員開發(fā)出了一種使用桌面型3D打印機制造高質(zhì)量微電機系統(tǒng)(MEMS)的方法。用這種方法制造MEMS，其成本僅有市場上現(xiàn)有技術的百分之一，而且質(zhì)量一點不差
2015-12-24 16:27:44
損耗、高隔離度、成本低等優(yōu)勢在手機上得到應用。然而RF MEMS開關普遍存在驅(qū)動電壓高、開關時間長的問題，劣于FET場效應管開關和PIN二極管開關。相對于國外已取得的成果，國內(nèi)的研究尚處于起步階段。下文將針對MEMS開關的缺陷做一些改進。
2019-07-29 08:31:54
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
具有許多獨特的優(yōu)勢。 它們在相同的性能等級中較小，并且經(jīng)過設計和調(diào)整，使其在多麥克風音頻信號之間具有匹配的幅度和相位。此外，MEMS技術可抵抗高溫和回流焊，從而實現(xiàn)了自動化的PCB組裝過程。語音用戶界面
2020-09-01 18:48:02
不能進行SMT（表面貼裝技術）操作。在MEMS麥克風的制造過程中，SMT回流焊簡化了制造流程，可以省略一個目前通常以手工方式進行的制造步驟。在ECM麥克風內(nèi)，必須添加進行信號處理的電子元件；而在MEMS麥克風
2016-05-17 12:01:13
、制造、銷售與服務于一體的無源光通信器件OEM/ODM廠商，主要生產(chǎn)和銷售光纖連接類產(chǎn)品（光纖連接器、適配器、跳線），WDM波分復用器，PLC光分路器，MEMS光開關等核心光無源基礎器件，廣泛應用于光纖到戶、4G/5G移動通信、互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)中心、國防通信等領域。`
2020-05-12 17:27:14
元件來最小化寄生電容。因此，MEMS可提供比所有傳統(tǒng)制造的慣性傳感器組合更多的優(yōu)勢?！ irst Sensor 傳感器在測量傾斜度，加速度和振動方面的優(yōu)勢： · 靈活的MEMS設計：測量范圍從1到
2020-07-07 09:36:40
進的MEMS開關制造設備，ADI公司目前可以批量生產(chǎn)高性能的快速小型MEMS開關，此類開關的特點是機械耐用、功耗低且具有靜電放電 (ESD) 保護功能。MEMS開關技術ADI MEMS開關技術的關鍵是
2018-11-01 11:02:56
的晶體振蕩器的微機電系統(tǒng)(MEMS)振蕩器已打入了頻率控制市場。這些MEMS振蕩器具有絕佳的可靠性，并且可提供具有成本優(yōu)勢的各種封裝尺寸，尤其是在晶體振蕩器上屬于高成本結(jié)構(gòu)的小巧型封裝。此外，通過引進單
2014-08-20 15:39:07
電子設備和通信系統(tǒng)設備的振蕩器選擇是影響系統(tǒng)性能的主要因素。目前振蕩器有兩種：石英晶體振蕩器是由石英晶體的基本結(jié)構(gòu)構(gòu)成，和一個簡單的振蕩器電路。全硅MEMS諧振器，鎖向電路，溫度補償，以及制造校準
2020-05-30 13:25:53
。這并沒有妨礙狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師在新產(chǎn)品中使用噪音性能優(yōu)良的MEMS。作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，下面是狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因。
2019-07-17 06:38:53
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術是通過使用先進的微制造技術將機械器件、傳感器和電子組件部署在單個硅基板上而實現(xiàn)。如今，這些技術已經(jīng)逐漸取代了汽車市場各種車型使用的大部分傳感裝置，并帶來系統(tǒng)在降低成本、持續(xù)可靠性（由于固有的穩(wěn)健性）、空間利用（由于其緊湊的尺寸）以及工作性能等方面相當大的設計優(yōu)勢。
2019-08-02 06:35:04
SPEA在MEMS半導體測試分類機、分選設備設計制造有數(shù)十年的歷史，公司推出的的H3560 - MEMS取放傳送裝置性能凸出，優(yōu)勢明顯。H3560 具有所有的接觸和界面被測器件所需
2022-09-23 11:18:36
ST mems陀螺儀
基于ST專有的MEMS技術的優(yōu)勢和世界
2008-09-23 10:41:202137 “MEMS的應用與機遇”研討會探索MEMS廣闊市場
MEMS是多學科交叉融合的前沿技術，是未來的主導產(chǎn)業(yè)之一。MEMS以其微型化的優(yōu)勢，在消費電子、醫(yī)療電子集汽車電子等
2010-02-22 11:18:02502 MEMS規(guī)范概述
許多擁有晶圓廠的半導體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產(chǎn)線的產(chǎn)能，但是若
2010-03-11 14:35:31530 MEMS光開關的優(yōu)勢有發(fā)展動態(tài)簡介
摘要 本文介紹了基于MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術的光開關的技術優(yōu)勢及主要制造商情況，并概要分
2010-03-20 11:15:341065 中心議題： MEMS振蕩器與傳統(tǒng)石英晶振的比較優(yōu)勢 Stime最新的MEMS晶振性能介紹 解決方案： MEMS振蕩器體積更小巧，厚度可低至0.25毫米 MEMS振蕩器的穩(wěn)固程度為傳統(tǒng)石英晶振的十倍 MEMS振
2012-09-14 23:09:332323 MEMS麥克風在移動設備中的應用優(yōu)勢，MEMS麥克風不僅提供極佳的音頻質(zhì)量，而且具有優(yōu)良的抗電磁干擾功能
2012-12-10 14:01:592977 面向世界各地的集成元件制造商（IDM）和最終測試分包商，設計和制造最終測試分選機、測試座和負載板的廠商Multitest公司，日前宣布其設備全面支持MEMS振蕩器的相關優(yōu)勢。
2012-12-21 14:09:25731 MEMS制造中精確測量薄膜厚度的方法研究與比較_陳莉
2017-03-19 18:58:18
2 作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因。
2018-07-07 11:25:00590 在MEMS傳感器的新聞發(fā)布會，ST談論了MEMS的發(fā)展現(xiàn)狀，ST做了20年的MEMS 傳感器，優(yōu)勢是經(jīng)過市場檢驗的制造技術，更是集成市場領先者，MEMS傳感器起始于汽車和工業(yè)，真正的助力卻是消費類電子。所以ST MEMS的下一波發(fā)展機會將會再次回到消費電子行業(yè)。
2018-01-19 16:14:522220 公司實為MEMS 晶圓純代工廠前列，產(chǎn)能及利用率雙雙提升，充分受益行業(yè)景氣。Yole 統(tǒng)計，2017 年公司名列MEMS 晶圓代工廠第三名。當前Silex MEMS 制造產(chǎn)能達4000
2018-07-25 11:08:002544 全面屏CNC切割方式在全面屏加工中是有優(yōu)勢的，那具體有哪些優(yōu)勢？
2018-03-06 10:32:358064 MEMS產(chǎn)業(yè)增長潛力巨大，而MEMS制造是產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實的關鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報道，漫長的開發(fā)周期、繁多的制造平臺、研發(fā)期間的用量少帶來的高報價是阻礙新產(chǎn)品快速研發(fā)的主要絆腳石。
2018-05-21 23:27:003239 
可能大部分對MEMS還是比較陌生，但其實MEMS在生活中早已無處不在了，智能手機、手環(huán)、汽車、無人機、VR/AR頭戴式設備等，都應用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40:2421882 除了5G通信，Emerald MEMS OCXO還適合物聯(lián)網(wǎng)和汽車應用。在物聯(lián)網(wǎng)領域，MEMS 時鐘具有體積小、重量輕和低功耗的優(yōu)勢。而在汽車領域，嚴苛環(huán)境下的穩(wěn)定性以及智能汽車對時鐘精度的高要求都使得MEMS OCXO極具競爭力。
2020-02-12 09:05:001816 
IMT公司專項獎學金支持未來之才開展創(chuàng)新研究，推動MEMS制造工藝技術快速發(fā)展。
2019-05-06 14:22:04809 源自微電子，MEMS制造的優(yōu)勢在于批處理。就像其它任何產(chǎn)品，MEMS器件規(guī)模量產(chǎn)加大了它的經(jīng)濟效益。如同集成電路制造，MEMS制造中光刻方法往往最具成本效益，當然也是最常用的技術。然而，其它處理方式，同時兼具優(yōu)點和缺點，也在使用，包括化學/物理氣相沉積（CVD/ PVD）、外延和干法蝕刻。
2019-08-29 15:10:579161 MEMS（微型機電系統(tǒng)） 麥克風是基于MEMS技術制造的麥克風，簡單的說就是一個電容器集成在微硅晶片上，使用表貼工藝貼裝到電路板上并搭配合適的ASIC，最后進行蓋外殼完成封裝。MEMS麥克風在簡潔的外觀之余，同時提供高性能、保真度及可靠性，適用于攜帶式裝置。
2019-08-15 14:40:157195 深度反應離子刻蝕或DRIE是一種相對較新的制造技術，已被MEMS社區(qū)廣泛采用。
2020-03-14 11:04:075187 
MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術是一種使產(chǎn)品集成化、微型化、智能化的微型機電系統(tǒng)。在半導體集成電路技術之上發(fā)展起來的硅基MEMS制造技術目前使用十分廣泛。 國外技術發(fā)展日趨成熟 上世紀80年代
2020-04-03 15:27:421773 MEMS是指可批量制作的，將微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。 用MEMS工藝制造的傳感器具有微型化、集成化
2020-04-16 16:17:461001 三級鐘MEMS振蕩器的問世，讓MEMS技術順利切入高端精密頻率組件市場，對石英振蕩器帶來全面性的威脅，原本石英晶體精準、穩(wěn)定度高等特性固守高端頻率組件領域的優(yōu)勢已不復存在。
2020-05-04 17:41:002154 
敏芯股份稱，MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同，且一種MEMS芯片對應一種制造工藝。芯片研發(fā)公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主開發(fā)生產(chǎn)工藝的能力。這是MEMS芯片企業(yè)創(chuàng)業(yè)艱難的核心所在，也是公司推動MEMS產(chǎn)業(yè)鏈全國產(chǎn)化的原因。
2020-05-30 11:08:1413787 三級鐘MEMS振蕩器的問世，讓MEMS技術順利切入高端精密頻率組件市場，對石英振蕩器帶來全面性的威脅，原本石英晶體精準、穩(wěn)定度高等特性固守高端頻率組件領域的優(yōu)勢已不復存在。
2020-06-19 09:49:082059 
MEMS硅晶振采用硅為原材料，采用先進的半導體工藝制造而成。因此在高性能與低成本方面，有明顯于石英的優(yōu)勢。
2020-07-17 17:08:392422 MEMS器件利用半導體加工技術來制造三維機械結(jié)構(gòu)，三種最常用的MEMS制造技術包括體微加工（Bulk Micro Machining）、表面微加工（Surface Micro Machining）和LIGA。
2020-07-29 17:42:586928 MEMS是一種制造技術，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機甚至蒸汽機都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術顯得有些神秘。什么是MEMS？ MEMS
2021-02-20 11:05:316656 MEMS工藝——半導體制造技術說明。
2021-04-08 09:30:41237 MEMS IC的制造可以用硅來完成，然后以其他方式放置少量的材料層并將其固定在Si襯底上。然后，將其選擇性地固定，從而留下微小的3D結(jié)構(gòu)，例如膜片，橫梁，杠桿，彈簧和齒輪。
2021-06-19 14:56:0510195 使用SiTime MEMS硅晶振有許多好處 - 從低功耗和高性能到可靠性和彈性。 MEMS作為微電子機械系統(tǒng)身就很小。硅晶振可實現(xiàn)極端擴展。無論是單獨的諧振器還是與其控制電子器件（例如，振蕩器IC
2021-10-27 17:00:131299 贊助商廣告展示 原文標題：MEMS芯片制造工藝流程詳解 文章出處：【微信公眾號：今日半導體】歡迎添加關注！文章轉(zhuǎn)載請注明出處。 ? ? ? 審核編輯：彭靜
2022-07-11 16:20:185860 MEMS技術日益成熟，并已在在各類電子產(chǎn)品上快速普及，從產(chǎn)值來看，有數(shù)據(jù)顯示目前MEMS傳感器約占整體傳感器市場一半以上產(chǎn)值。MEMS傳感器如此重要，然而大部分人，包括技術人員對MEMS技術還是比較
2022-10-25 10:14:19976 隨著微加工技術的發(fā)展，基于MEMS微橋結(jié)構(gòu)技術制造的微測輻射熱計器件，具備與半導體讀出電路單芯片集成并實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的能力，逐漸成為非制冷紅外探測器的主流制造技術。
2023-02-21 17:10:221213 提出了一種利用飛秒激光誘導化學蝕刻（FLICE）制造壓電致動的石英晶體MEMS諧振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878 RF MEMS開關是一種小型微機械開關，具有低功耗，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術生產(chǎn)。它們類似于房間里的開關，通過打開或關閉接觸點來傳導信號。
在RF MEMS設備的情況下，開關的機械部件僅有幾微米大小。與普通開關不同的是，RF MEMS開關傳導的信號處于射頻范圍內(nèi)。
2023-05-23 14:58:51862 
MEMS振蕩器的優(yōu)勢照比傳統(tǒng)OSC的主要優(yōu)勢
2022-02-08 17:08:36564 
MEMS 器件通常使用兩個芯片制造：一個來自 CMOS 晶圓，另一個來自 MEMS 晶圓。這種兩芯片制造工藝給制造商帶來了一些挑戰(zhàn)。為 MEMS 和 CMOS 生產(chǎn)單獨的晶圓成本高昂，會延長上市時間，而且只能生產(chǎn)小批量（特別是在硅短缺的情況下）。
2023-08-15 16:14:40550 
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容，全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況，推薦！ ? 作為現(xiàn)代傳感器重要的制造技術，MEMS
2023-10-20 16:10:351408 
以最清晰明了的方式，圖解直觀闡述MEMS傳感器芯片的制造過程和原理！ MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微機電系統(tǒng)）的縮寫，具有微小的立體結(jié)構(gòu)（三維結(jié)構(gòu)），是處理各種輸入、輸出信號的系統(tǒng)的統(tǒng)稱。 ? 是利用微細加工技術，將機械零零件、電子電路
2023-11-02 08:37:09777 
和封裝成本。本文討論不同的半導體 MEMS 制造方法及其進展。 半導體 MEMS 的重要性 MEMS 主要是傳感器系統(tǒng)，可以控制或感測化學、光學或物理量，例如流體、加速度或輻射。MEMS 設備/傳感器擁有與外界的電氣接口，通常通過 IC 實現(xiàn)，IC 提供必要的智能，使設備能
2023-11-24 09:19:31287 膜厚測試在MEMS制造工藝中至關重要，它不僅關乎工藝質(zhì)量，更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì)，精確測量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
2024-01-08 09:40:54262 
，而MEMS差分振蕩器則采用微機械元件實現(xiàn)，因此能夠在尺寸和功耗上實現(xiàn)更大的優(yōu)化。本文將深入探討MEMS差分振蕩器與傳統(tǒng)差分振蕩器之間的區(qū)別和優(yōu)勢。 首先，MEMS差分振蕩器的最大優(yōu)勢在于其微機械元件的制造方式。傳統(tǒng)差分振蕩器使用的元件需
2024-01-26 14:20:52128
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