什么是濕度傳感器

濕度傳感器是指檢測外界環境濕度的傳感器，它將所測環境濕度轉換為便于處理、顯示、記錄的電(頻率)信號等。它是一類重要的化學傳感器，在倉貯、工業生產、過程控制、環境監測、家用電器、氣象等方面有著廣泛的應用。濕度傳感器是由濕度敏感元件、變換元件和測量電路三部分組成。對于濕度傳感器的敏感元件，常見的結構形式有三種:電容型、電阻型和電流型，分別通過檢測電阻、電容和電流的變化來傳感被測量。

作為理想濕敏元件應滿足下列要求:

(1) 靈敏度高，感濕特性曲線的線性度好; (2) 量程寬，實用溫度范圍廣，濕度溫度系數小; (3) 濕滯小，響應時間短。 (4) 使用壽命長，長期穩定性好，耐水性好，抗污染能力強: (5) 能在有害氣氛的惡劣環境中使用; (6) 感濕特征量應在易測范圍以內: (7) 具有互換性，制造簡單，價格低廉。

濕度傳感器是現代傳感技術發展方向之一。世界各國對濕度傳感器的研究非常活躍，研究重點之一是開發新型濕度敏感元件，因為新型高靈敏度和適用范圍廣的濕度敏感元件是實現濕度傳感器技術新突破的前提。而敏感元件的性能主要取決于兩個重要因素，即構成元件的材料和制備元件的加工技術，因此應用新技術、新材料是研究開發新型濕度敏感元件的重要手段，也是設立本課題的著眼點所在。濕度敏感元件的性能除了由其功能材料決定以外，還與其加工工藝有關。將現代先進制造技術引入傳感器技術，例如水熱腐蝕制備納米薄膜技術、鈍化技術等，能制作出質地均勻、性能穩定、可靠性高、體積小、重量輕的敏感元件。近幾年 ，以納米多孔硅為感濕材料的濕度傳感器開始在國際上受到關注，這是因為它初步顯示出了一些優異的性能。