微機電系統陀螺儀工作原理
MEMS陀螺儀采用的是依賴于相互正交的震動和轉動引起的交變科里奧利力。
MEMS陀螺儀利用coriolis，將旋轉物體的角速度轉換成與角速度成正比直流電壓信號，其核心部件通過摻雜技術、光刻技術、腐蝕技術、LIGA技術、封裝技術等批量生產的。
陀螺儀的內部原理是這樣的：對固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個質量塊做振蕩式來回運動，當旋轉時，會產生科里奧利加速度，此時就可以對其進行測量;這有點類似于加速度計，解碼方法大致相同，都會用到放大器。
角速率由科氏加速度測量結果決定
科氏加速度 = 2 × (w × 質量塊速度)
w是施加的角速率(w = 2 πf)
通過14 kHz共振結構施加的速度(周期性運動)快速耦合到加速度計框架
科氏加速度與諧振器具有相同的頻率和相位，因此可以抵消低速外部振動
該機械系統的結構與加速度計相似(微加工多晶硅)
信號調理(電壓轉換偏移)采用與加速度計類似的技術
施加變化的電壓來回移動器件，此時器件只有水平運動沒有垂直運動。如果施加旋轉，可以看到器件會上下移動，外部指將感知該運動，從而就能拾取到與旋轉相關的信號。
真實的陀螺儀內部構造
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
mems
+關注
關注
129文章
3958瀏覽量
191099 -
陀螺儀
+關注
關注
44文章
792瀏覽量
98976
原文標題：陀螺儀傳感器工作原理深度解析
文章出處：【微信號：WW_CGQJS，微信公眾號：傳感器技術】歡迎添加關注！文章轉載請注明出處。
發布評論請先 登錄
相關推薦
mems陀螺儀的特點和工作原理解析
MEMS陀螺儀也稱電子式陀螺儀，就是一塊芯片。 Iphone 4上的陀螺儀就是這種，主要作用是在GPS沒有信號時，通過陀螺儀的作用仍然能夠繼續精確導航。MEMS
發表于 10-23 10:57
陀螺儀的工作原理及創新應用
`先來看一段視頻，俄羅斯教授演示陀螺儀穩定器的工作原理： ●陀螺儀的名字由來陀螺儀名字的來源具有悠久的歷史。據考證，1850年法國的物理學家萊昂·傅科（J.Foucault）為了研究
發表于 09-09 08:48
陀螺儀的基本組成及工作原理
（是指力矩馬達、信號傳感器等）?！ ?b class='flag-5'>陀螺儀的工作原理 陀螺儀偵測的是角速度。其工作原理基于科里奧利力的原理：當一個物體在坐標系中直線移動時，假設坐標系做一個旋轉，那么在旋轉的過程中，
發表于 12-17 16:31
陀螺儀工作原理以及不同種類陀螺儀之間的差異
文件第四步 編譯并下載，觀察實驗現象【思考題】1、選擇題2、簡答題【實驗目的】熟悉陀螺儀工作原理，了解不同種類陀螺儀之間的差異；熟悉MPU6050的輸出形式，熟悉MPU6050的通信方法；掌握S...
發表于 08-06 06:08
MEMS陀螺儀可否取代光纖陀螺儀技術
光纖陀螺儀（FOG）以前曾經是環形激光陀螺儀（RLG）等其他技術的低成本替代品，現在該技術面臨著新的競爭。微機電系統（MEMS）陀螺儀開始搶
發表于 02-24 17:24
?9745次閱讀
MEMS陀螺儀的驅動和傳感及工作原理解析
但是MEMS陀螺儀（gyroscope）的工作原理不是這樣的，因為要用微機械技術在硅片襯底上加工出一個可轉動的結構可不是一件容易的事。MEMS陀螺儀利用科里奧利力——旋轉物體在有徑向運
發表于 03-08 14:47
?6445次閱讀
光纖陀螺儀與旋轉式陀螺儀的工作原理解析
光纖陀螺儀（FOGs）與常用于玩具中的旋轉式陀螺儀類似，因為這兩種陀螺儀都能測量物體的旋轉。但這兩種陀螺儀的工作機制卻不同：光纖
發表于 10-10 15:22
?8479次閱讀
微機械陀螺儀工作原理_微機械陀螺儀的應用
微機械陀螺儀（MEMS gyroscope）的工作原理 傳統的陀螺儀主要是利用角動量守恒原理，因此它主要是一個不停轉動的物體，它的轉軸指向不隨承載它的支架的旋轉而變化。但是
陀螺儀是什么？陀螺儀工作原理
因為ST選用了音叉方法設計陀螺儀，其差分特性使系統本身對作用在傳感器上的無用線性加速度和雜亂振動的敏感度低于市場上現有的其它類型陀螺儀。當這些無用的信號被施加到陀螺儀，兩個質點就會沿相
發表于 10-08 16:49
?5763次閱讀
陀螺儀傳感器工作原理
陀螺儀傳感器是一種廣泛應用于航空、航天、導航和自動化控制系統中的重要傳感器。它的主要作用是測量并感知物體的角速度。本文將詳細介紹陀螺儀傳感器的工作原理。
工商網監
評論