本次主要是針對(duì)MEMS力學(xué)傳感器主要廠商及產(chǎn)品進(jìn)行了整理。 MEMS是多學(xué)科交叉的復(fù)雜系統(tǒng)，其產(chǎn)業(yè)鏈類似于傳統(tǒng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈涉及設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試、軟件及應(yīng)用方案環(huán)節(jié)。MEMS傳感器的應(yīng)用已滲透進(jìn)各行各業(yè)，如工業(yè)自動(dòng)化、航天技術(shù)、軍事工程、資源開(kāi)發(fā)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)療診斷、交通運(yùn)輸?shù)取? 2018 年，全球MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模約為146億美元，同比增長(zhǎng)10.8%，消費(fèi)電子、汽車電子和工業(yè)控制是應(yīng)用MEMS最多的三個(gè)下游板塊，其中智能終端的需求是近年最大的增長(zhǎng)點(diǎn)。Yole Development 預(yù)測(cè)，2018-2022年MEMS傳感器全球市場(chǎng)規(guī)模年化增速預(yù)計(jì)將達(dá)14.85%。

我國(guó)MEMS 產(chǎn)業(yè)仍處于追趕階段，目前進(jìn)口率在60%以上，具有廣闊的國(guó)產(chǎn)替代空間。根據(jù)賽迪顧問(wèn)統(tǒng)計(jì)，2018年，我國(guó)MEMS 傳感器行業(yè)規(guī)模523 億元，同比增長(zhǎng)19.5%，預(yù)計(jì)2018-2020 年年化增速為17.41%

此外，MEMS傳感器種類繁多，可按不同方式進(jìn)行分類，常見(jiàn)的一種是將其分為溫度傳感器、聲學(xué)傳感器、光學(xué)傳感器、壓力傳感器，下圖是一種更為詳細(xì)的劃分方式，電子發(fā)燒友后續(xù)將會(huì)對(duì)各類MEMS傳感器進(jìn)行整理。

本周主要對(duì)MEMS力學(xué)傳感器主要廠商及產(chǎn)品型號(hào)做了梳理，以下是具體內(nèi)容。

TDK-應(yīng)美盛 MPU-6500 MPU-6500是該公司的第二代6軸Motion Tracking設(shè)備，適用于智能手機(jī)，平板電腦，可穿戴傳感器和其他消費(fèi)市場(chǎng)。MPU-6500采用3x3x0.9mmQFN封裝，是世界上最小的6軸Motion Tracking器件，并結(jié)合了最新的TDK Invensense設(shè)計(jì)創(chuàng)新，適用于MEMS陀螺儀和加速度計(jì)，可顯著減小芯片尺寸和功耗，同時(shí)時(shí)間改善性能和成本。新型MPU-6500滿足了高性能應(yīng)用的市場(chǎng)需求，例如行人導(dǎo)航，上下文感知廣告和其他基于位置的服務(wù)，并支持新興的可穿戴傳感器應(yīng)用的規(guī)范，例如遠(yuǎn)程健康監(jiān)測(cè)，運(yùn)動(dòng)和健身跟蹤，以及其他消費(fèi)者應(yīng)用程序。

ANALOG DEVICES 1、ADXL345BCCZ ADXL345是一個(gè)輕巧、薄型、超低功率的3軸加速度器,具有高分辨率(13位)，測(cè)量高達(dá)±16g的特性，數(shù)字輸出數(shù)據(jù)格式為16位二進(jìn)制補(bǔ)碼,可通過(guò)SPI(3或4線)或者I2C數(shù)字接口訪問(wèn)。ADXL345非常適合移動(dòng)設(shè)備應(yīng)用，它可用于測(cè)量?jī)A斜感應(yīng)應(yīng)用中的重力靜態(tài)加速度,以及由運(yùn)動(dòng)或沖擊產(chǎn)生的靜態(tài)加速度，它的高分辨率(3.9mg/LSB)使其可測(cè)量小于1.0°的傾角變化.

2、ADXL3596/7 數(shù)字輸出ADXL357是低噪聲密度、低功耗的3軸加速度計(jì)， ADXL356/ADXL357提供業(yè)界領(lǐng)先的低噪聲，有著隨溫度變化而失調(diào)漂移最小，此外其具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性，從而使校準(zhǔn)精度小的應(yīng)用成為可能。 低漂移，低噪聲和低功耗ADXL357能夠在振動(dòng)較大的環(huán)境（例如機(jī)載IMU）中進(jìn)行準(zhǔn)確的傾斜測(cè)量。ADXL356在較高頻率范圍內(nèi)的低噪聲非常適合無(wú)線狀態(tài)監(jiān)測(cè)。

意法半導(dǎo)體 1、LIS2DH12TR LIS2DH12TR具有測(cè)量高達(dá)±400g加速度的特性，電源電壓范圍在1.71到3.6V。具有低功耗模式、自動(dòng)喚醒功能和FIFO緩沖器，可用于存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，從而減少主機(jī)處理器負(fù)載和系統(tǒng)功耗。

2、LIS3DH

LIS3DH是一個(gè)超低功率的高性能3軸線性加速度器,屬"nano"系列,帶數(shù)字I2C/SPI串行接口標(biāo)準(zhǔn)輸出。此設(shè)備具有超低功率運(yùn)行模式,有著先進(jìn)的省電和智能內(nèi)嵌功能，可由兩個(gè)獨(dú)立的慣性喚醒以及由設(shè)備自身位置配置以生成中斷信號(hào)。中斷發(fā)電器的閾值和計(jì)時(shí)可由飛行的終端用戶編程。LIS3DH有一個(gè)集成的32級(jí)先進(jìn)先出(FIFO)緩沖,允許用戶存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，用于減少對(duì)主控處理器的干預(yù).

3、L3GD20 MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器三軸數(shù)字輸出陀螺儀，連接STMicroelectronics的L3GD20陀螺儀用來(lái)測(cè)量設(shè)備的角速度。該器件的最大電壓為3.6V，溫度范圍為-40°C至85°C。 博世 SMA130 博世新推出的SMA130三軸加速度傳感器為汽車信息娛樂(lè)系統(tǒng)與車載信息服務(wù)系統(tǒng)應(yīng)用提供信息。SMA130的尺寸僅為2x2毫米，非常易于安裝。盡管尺寸非常小，但該傳感器具有從±2g~±16g測(cè)量范圍與14位高分辨率。極小的尺寸結(jié)合如此高分辨率意味著對(duì)傳感器的電路設(shè)計(jì)提出了巨大挑戰(zhàn)。但是，SMA130工作電流僅130uA，十分節(jié)能。5種自定義節(jié)能模式能夠?qū)⒐慕档椭?uA。比如，當(dāng)停車時(shí)間較長(zhǎng)時(shí)，此低能耗水平成為了應(yīng)用于防盜系統(tǒng)的關(guān)鍵條件，從而避免傳感器為電瓶造成過(guò)多的負(fù)擔(dān)。在不到2ms的時(shí)間內(nèi)即可啟用某種模式。這樣保證了各應(yīng)用能快速地接收來(lái)自傳感器輸出的對(duì)應(yīng)的可靠信息。

恩智浦 MMA8652FCR1 NXP Semiconductors MEMS加速表具有3軸（X、Y、Z），用于檢測(cè)由墜落、傾斜、運(yùn)動(dòng)、定位、沖擊和振動(dòng)導(dǎo)致的力度變化。具有快速響應(yīng)時(shí)間、高靈敏度、低電耗、低電壓操作的特點(diǎn)。 美新 IMU380ZA-200 IMU380ZA采用小型24 x 37 x 9.5 mm模塊：并為此類設(shè)備設(shè)置了新標(biāo)準(zhǔn)，偏置不穩(wěn)定性<10度/小時(shí)，角度隨機(jī)游走(ARW)<0.75 ，完全校準(zhǔn)的性能超過(guò)-40至+ 85℃溫度范圍，低功耗<250mw，以及spi和uart通信，可與客戶的系統(tǒng)電子設(shè)備緊密集成。 ?

敏芯 MSA300 MSA300是蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司出品的一款超低成本超小封裝的三軸數(shù)字加速計(jì), MSA330芯片傳感器采用中芯國(guó)際CMOS集成MEMS器件制造技術(shù)和基于硅片通孔（TSV）的晶圓級(jí)封裝（WLP）技術(shù)，將三軸加速度傳感器與CMOS ASIC垂直整合，形成一個(gè)獨(dú)立的的單芯片系統(tǒng)封裝。

旭化成微電子 AK 09940 傳統(tǒng)的三軸磁傳感器已被用于位置跟蹤應(yīng)用，然而，在某些情況下，由于磁場(chǎng)噪聲，無(wú)法獲得足夠的性能。AK 09940超低噪聲三軸傳感解決了這一問(wèn)題，提高了AR和VR的磁位置跟蹤精度。AK 09940適用于磁粉檢測(cè)和金屬污染三軸測(cè)量，測(cè)量濕場(chǎng)、微小變化和磁場(chǎng)畸變，具有較高的精度。此外，AK 09940具有非常低的功耗電流，適用于小型電池可穿戴和物聯(lián)網(wǎng)器件的三軸測(cè)量。

原文標(biāo)題：工程師最關(guān)注的產(chǎn)品梳理系列：MEMS力學(xué)傳感器主要廠商及產(chǎn)品

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