中國euv光刻機三大突破 光刻機的三個系統
如今世界最先進的EUV光刻機，只有asml一家公司可以制造出來。
光刻機總共有三個核心部件，一是雙工件臺，二是EUV光源，三是EUV光學鏡頭，顧名思義，高能同步光源設備，是應用于EUV光源的設備。
據最新消息了解，清華大學已經和北京華卓精科合作，并且實現了65nm工藝光刻機需求的雙工件臺系統。
據央視報道，中科院高能物理研究院，創造出了中國首臺高能同步輻射光源設備，此外，為這臺光源設備提供技術支持的測試平臺，也已經開始試運行。
光刻機主要包括：光源、投影物鏡和工件臺三個子系統及其他部件。其中，光源系統主要用來發射激光，投影物鏡系統主要用來對光線進行精準聚焦，工件臺主要用來承載硅片并根據光刻需求進行精密運動，其決定了光刻機的分辨率和生產效率。
文章綜合豐牛財經、小夏分享快樂I、操盤必讀
編輯：黃飛
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發表于 03-21 11:31
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