電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/莫婷婷）近日，日本半導體設(shè)備協(xié)會（SEAJ）預計今年（2022年4月至2023年3月）日本半導體設(shè)備銷售額將超過4萬億日元（約合人民幣1964億元），年增長率達到17%。這里半導體制造設(shè)備的銷售額是指日系企業(yè)于日本國內(nèi)及海外的設(shè)備銷售額。值得關(guān)注的是，這已經(jīng)是日本連續(xù)3年在半導體設(shè)備領(lǐng)域創(chuàng)新高，且首次超過4萬億日元。

日本半導體產(chǎn)業(yè)在全球市場的表現(xiàn)曾經(jīng)下滑至6%的市場份額，如今，日本在全球半導體設(shè)備領(lǐng)域的位置舉足輕重，占據(jù)三成的市場份額，僅次于美國。那么，哪些廠商是日本半導體設(shè)備領(lǐng)域的龍頭企業(yè)，又是哪些半導體設(shè)備銷售額最高，最為緊缺呢？


全球半導體設(shè)備“擴產(chǎn)潮”帶動日本半導體設(shè)備銷售
根據(jù)SEAJ的數(shù)據(jù)，1995年日本半導體制造設(shè)備銷售額突破1萬億日元，22年后，在2017年突破2萬億日元；又在2021年突破3萬億日元。2021年期間，日本半導體設(shè)備銷售額實現(xiàn)快速的增長，這得益于全球半導體需求高漲，全球晶圓大廠掀起擴產(chǎn)潮，由此帶動了半導體設(shè)備需求。

全球?qū)Π雽w需求居高不下，必將再次提高半導體設(shè)備廠商的銷售額。日本半導體設(shè)備的需求主要來自邏輯芯片/晶圓廠總體投資規(guī)模的擴大，以及存儲半導體市場規(guī)模持續(xù)擴大，是日本半導體設(shè)備銷售額增長的主要原因。早在2019年，存儲芯片在全球半導體市場的份額就達到了40%。

根據(jù)公開的財報數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2021年進入全球前十五半導體設(shè)備廠商榜單中，有7家來自日本，分別是東京電子（全球第三），愛德萬（全球第六）、SCREEN（全球第八）、日立高科（全球第十）、迪斯科（全球第11）、尼康（全球第13）、Kokusai Electric（全球第15）。其中，東京電子的銷售額達到了172億美元，并且在近兩年增長明顯，2019年的銷售額僅為95.5億美元，2020年突破百億美元，達到113.2億美元。

上述7家半導體設(shè)備廠商中，覆蓋了半導體、LCD、印刷電路板制程設(shè)備、晶圓切割設(shè)備、測試設(shè)備等多種設(shè)備。中國作為全球最大半導體設(shè)備市場，2021年的進口率達到73%，交易金額達到1500億。不容置疑，在日本的7大半導體設(shè)備廠商的出口企業(yè)中，有多數(shù)來自中國半導體企業(yè)。

東京電子從事半導體制造設(shè)備和平板顯示器制造設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。其制造設(shè)備大多被應用于前制程，面向記憶體和MPU等主要半導體廠商出貨。近年來，東京電子加強新一代產(chǎn)品的迭代，例如在2022財年第3季度，東京電子發(fā)布了一款用于功率器件的300毫米蝕刻系統(tǒng)——Tactras UDEMAE，根據(jù)介紹，該產(chǎn)品利用200 mm系統(tǒng)中構(gòu)建的300 mm系統(tǒng)工藝庫，還配備了抑制晶圓錐角區(qū)域顆粒生成的功能，對功率器件的制造環(huán)節(jié)至關(guān)重要。

東京電子曾經(jīng)在電話會議中提到，2021財年，全球晶圓廠設(shè)備 (WFE)市場中約有25%的投資來自中國，其中約80%的投資來自中國本土客戶，并且預計2022財年也將保持這樣的占比。據(jù)了解，東京電子在2021年開始推進1納米半導體設(shè)備的開發(fā)，東京電子的執(zhí)行董事秋山啟一表示，通過開發(fā)新一代光刻系統(tǒng)，東京電子將在2025-2026年之前實現(xiàn)1納米線寬級別半導體的量產(chǎn)化。

得益于傳感器、存儲器等各領(lǐng)域?qū)Π雽w設(shè)備的需求，尼康在2021年實現(xiàn)營收的快速增長。財報顯示，截至2022年3月的全年財年（2021年4月1日－2022年3月31日），尼康集團全年銷售收入達5396億日元，較上一財年增加達884億日元；營業(yè)利潤突破499億日元。在尼康的各項業(yè)務中，包括半導體制造、液晶面板設(shè)備等的精密機械、醫(yī)療設(shè)備的銷售額占比不斷提升。

目前，國內(nèi)有多家顯示屏智造基地，其中包括洲明科技的全球最大規(guī)模的LED顯示屏智造基地，還有京東方、華星光電、天馬等企業(yè)同樣需要面板制造設(shè)備；除此之外，中芯國際、長江存儲等企業(yè)正在投資擴產(chǎn)，對光刻機的需求也是很高。對于尼康來說，中國是其半導體設(shè)備的巨大市場。

但業(yè)內(nèi)媒體曾報道，美國政府的一項新的要求提出，將禁止ASML、尼康對中國銷售DUV光刻機。若是該消息成為事實，尼康的半導體設(shè)備市場份額在全球市場是否會出現(xiàn)新的變化？另一方面，在2021年，受益于筆記本電腦及平板電腦市場的快速增長，尼康的FPD曝光設(shè)備也在該領(lǐng)域大展拳腳，如今PC市場出現(xiàn)下滑，又是否會給尼康的相關(guān)業(yè)務帶來影響？



半導體設(shè)備國產(chǎn)化加速
國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會預計，2022年全球前端晶圓廠設(shè)備支出總額將同比增長18%，達到1070億美元。與此同時，晶圓廠設(shè)備銷售支出前五的國家和地區(qū)分別是中國臺灣、韓國、中國大陸、美洲地區(qū)、歐洲/中東地區(qū)。其中，中國臺灣和大陸的銷售支出分別為350億美元、175億美元，合計超過500億美元。

如今，在擴產(chǎn)潮的背景，中國企業(yè)對半導體設(shè)備的需求不斷提升，國內(nèi)半導體設(shè)備廠商也在不斷發(fā)展。中微公司的半導體設(shè)備包括刻蝕設(shè)備和 MOCVD 設(shè)備。從2004年發(fā)展至今，中微公司的ICP刻蝕設(shè)備已逐漸成熟，截至 2021 年上半年已交付 100 腔，Mini LED 用 MOCVD設(shè)備已獲得大批量訂單。公開資料顯示，中微公司的 CCP 刻蝕設(shè)備在 5nm 及以下邏輯電路產(chǎn)線、64 層 及 128 層 3D NAND 生產(chǎn)線都有應用

芯源微是國內(nèi)的半導體涂膠顯影廠商，其光刻工序涂膠顯影設(shè)備和單片式濕法設(shè)備，可用于8/12英寸單晶圓處理及6英寸及以下單晶圓處理。值得關(guān)注的是，公司的涂膠顯影設(shè)備已經(jīng)進入臺積電、長電科技、華虹、華天科技、上海積塔等企業(yè)的供應鏈。

另一半導體設(shè)備廠商華海清科的CMP設(shè)備的訂單在2021年上半年累計出貨58臺，在手訂單35臺，同樣進入了中芯國際、長江存儲、華虹集團、大連英特爾等廠商的供應鏈。

盡管半導體設(shè)備國產(chǎn)化加速，但是也要認識到與國際廠商的距離。作為對比，日本荏原的CMP設(shè)備已達到5nm制程工藝水平，華海清科CMP設(shè)備則主要應用于28nm及以上制程生產(chǎn)線，14nm制程工藝仍在驗證中。

現(xiàn)階段還得需要外供，國產(chǎn)化率還有待提高。但是可以期待的是，國內(nèi)半導體設(shè)備廠商正在提升產(chǎn)品競爭力，從上述中微公司、芯源微等半導體設(shè)備廠商的動態(tài)來看，國內(nèi)半導體設(shè)備已經(jīng)完成從0到1的突破，CMP設(shè)備、PVD設(shè)備的國產(chǎn)化率約為10%、刻蝕設(shè)備國產(chǎn)化率為20%，涂膠顯影設(shè)備的全球市場占有率也在提升，未來將迎來良好的成長機會。