紅外光學系統中硅的非球面、衍射面加工技術
硅和鍺一樣是一種化學穩定性好的優良的紅外光學材料，按制備工藝可分為直拉單晶硅和區熔單晶硅；直拉單晶硅（CZ-Si）可以透過紅外1.5-8微米波長范圍，通常用于3-5μm波段的窗口鏡和透鏡。區熔單晶硅（FZ-Si）可用于1--16um波段，通常用于7-14μm波段，可用作長波紅外鏡頭窗口片。單晶硅的特性及光譜透過率如下表所示。
中波紅外光學系統（3-5um）領域硅是ZUI常用的材料，整體趨勢要求光學系統體積小、重量輕、結構簡單，通常會在硅透鏡上使用非球面甚至衍射面；硅非球面、衍射面一直不容易加工，其原因是硅材料物理性能脆硬，加工過程中往往很容易出現崩邊等問題,表面光潔度以及面型精度也很難控制；同時加工刀具非常容易磨損，高昂的刀具成本也使得硅非球面、衍射面透鏡價格很高，使得硅非球面、衍射面一直停留在小數量樣品階段，不能得到大量的運用。
波長光電的工藝技術團隊經過不斷嘗試，采用超精密加工技術成功攻克了這個難題，解決了硅表面加工非球面、衍射面的批量生產的困惑，實現可批量供貨的能力。降低中波制冷紅外變焦鏡頭產品開發成本。
審核編輯：湯梓紅
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