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首臺ASML光刻機搬入!中國首座12英寸車規級功率半導體晶圓廠將投產!

傳感器專家網 ? 2022-12-19 10:20 ? 次閱讀

由上海建工四建集團承建的臨港重裝備產業區F16-01地塊項目,舉行了鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機搬入儀式。這意味著,首臺ASML光刻機搬入,中國首座12英寸車規級功率半導體自動化晶圓制造中心即將投入生產;與此同時,ASML也通過實際行動表明了自己不放棄中國市場的態度! 為了遏制中國科技發展,美方不僅施壓荷蘭光刻機制造商阿斯麥(ASML)禁止向我國出售14nm及以下工藝的DUV光刻機,還一直試圖要求該公司禁止對華銷售部分舊款光刻機,以及所有制造芯片所需的主流技術。 要知道,目前全球只有ASML能夠生產先進的EUV光刻機,但ASML的光刻機匯集了世界高端技術的結晶,其中自然用到了很多含有美國設備的技術,所以ASML自由出貨被美方拿捏得死死的。 不過,現在傳來一則好消息,ASML針對自由出貨不愿意再妥協了——近日,由上海建工四建集團承建的臨港重裝備產業區F16-01地塊項目,舉行了鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機搬入儀式。 這意味著,首臺ASML光刻機搬入,中國首座12英寸車規級功率半導體自動化晶圓制造中心即將投入生產;與此同時,ASML也通過實際行動表明了自己不放棄中國市場的態度! 9c50bcc8-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.jpg9c5f3636-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.jpg ?造芯:預計年產36萬片! 根據鼎泰匠芯官方消息顯示,臨港重裝備產業區F16-01地塊項目,位于上海市浦東新區南匯新城鎮,東至新元南路,西至鴻音路,北至萬水路,占地約198畝,總建筑面積達204059.7平方米,總投資超120億元。 該項目于2021年1月開啟,同年7月正式開工,建成后將導入荷蘭安世半導體技術打造國內第一座12英寸車規級功率半導體自動化晶圓制造中心,對臨港新片區建設世界級的電動汽車全產業鏈具有重要意義。

據悉,建設包括FAB生產廠房(含潔凈室)、OS生產調度及研發大樓、CB綜合樓、WH倉庫、CUB動力站等大型群體工程。其中,FAB生產廠房作為本工程最大規模單體,建筑面積達104085.98平方米。 待該項目全面達到預期產能后,可實現年產能約36萬片12英寸功率器件(POWER MOS)晶圓片,主要生產MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率器件產品。同時,還將同步推動建成芯片設計、5G智能硬件AI/IOT模塊設計的研發總部,助力上海成為國際一流的半導體和5G產業創新高地。 9ca1feda-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.jpg▲臨港重裝備產業區F16-01地塊項目 根據公開資料顯示,鼎泰匠芯母公司是聞天下科技集團有限公司,聞天下旗下的聞泰科技(安世半導體)是全球知名的半導體IDM企業,在功率半導體領域形成了產品設計、仿真、制造、封裝、測試、標定、可靠性試驗驗證等一系列IDM核心技術能力,在車規級半導體領域處于全球領先,對晶圓制造建廠、設備、工藝及產品等都有著豐富的認知和實踐經驗。 未來,臨港12英寸車規級晶圓廠的投產,也將有助于安世半導體快速增加產能,對滿足全球客戶日益增長的需求具有重要意義。 ASML:不放棄中國市場! 眾所周知,芯片制造離不開光刻機。盡管最近一段時間ASML成為了美國施壓的對象,但其實ASML一直都在提升對國內市場的出貨能力。比如,今年第一季度ASML就出貨了23臺DUV光刻機,國內市場一舉超過美國,成為ASML第三大市場。現如今,ASML不僅拒絕收緊DUV光刻機的出貨范圍,還計劃將在中國臺灣地區投資300億新臺幣進行擴產。隨著先進光刻機產能的提升和High-NA EUV光刻機的問世,ASML有望自由出貨更先進的設備。 9cbc04d8-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.png▲鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機搬入現場 據了解,ASML做出這樣的決定,主要出于以下幾點原因: 首先,國內市場是最大的芯片消費市場,目前很多國內廠商開始自研自產芯片,進口芯片出現了明顯的下滑趨勢。越來越多的芯片在國內生產制造,自然就需要用到更多的光刻機等設備。 另外,新能源汽車無疑是未來趨勢之一,而中國又是最大的新能源汽車消費國,同時也是最大的出口國,新能源汽車生產制造需要大量的芯片。 相比手機而言,汽車是更大的產業鏈,畢竟會有更多的汽車芯片在國內完成生產制造,這對光刻機的需求自然也會進一步增加。 其次,ASML能夠更多的出貨,也是因為ASML的光刻機制造技術最為先進,其它廠商根本替代不了。據了解,ASML的光刻機技術來自全球40多個國家、數百家供應商,就連美國也沒有獨立生產制造光刻機的能力。另外,在ASML生產制造的光刻機中,美國技術占比是有限的。因此,美方修改規則限制出貨,這對ASML光刻機出貨的影響也相對是有限的。 更何況,國內廠商在先進光刻機方面取得了諸多突破,目前已經拿下了國內八成光刻機市場,以及全球四成的封裝光刻機市場。 由此可以看出,ASML不放棄中國市場是對的。 9cd7ca6a-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.jpg▲ASML首席執行官Peter Wennink 正如ASML首席執行官Peter Wennink在今年7月披露財報時表示:中國大陸是半導體行業的重要參與者,是全球市場非常重要的供應商。“政客們”沒事就要提出限制向中國大陸銷售DUV光刻機的計劃,但是世界不能忽視“中國半導體產能對全球電子產業的重要性”。如果美方迫使ASML停止向中國銷售DUV光刻設備,那么全球半導體供應鏈將面臨中斷。


原文標題:首臺ASML光刻機搬入!中國首座12英寸車規級功率半導體晶圓廠將投產!

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