那曲檬骨新材料有限公司

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示

基于MEMS的BAW諧振器技術及應用

中科院半導體所 ? 來源:EETOP ? 2023-01-12 17:41 ? 次閱讀

微控制器單元 (MCU) 到現場可編程門陣列 (FPGA) 的各種設備滲透到我們互聯的世界中。為了正常運行,此類設備需要時鐘來同步它們處理、傳輸和接收的數據。

體聲波 (BAW) 技術能夠制造出具有可編程頻率的緊湊、精確、可靠的時鐘,無需儲備多個以不同固定頻率運行的晶體。BAW 諧振器在確保移動和物聯網 (IoT) 設備與云計算資源之間的無縫通信方面發揮著關鍵且日益重要的作用。

基于 MEMS 的諧振器

31dcea3a-845e-11ed-bfe3-dac502259ad0.png

1. 體聲波諧振器包括夾在兩個電極之間的壓電材料。

體聲波諧振器是一種微機電系統(MEMS),由夾在兩個電極之間的壓電材料組成(圖 1)。這種材料可以將電能轉化為機械聲能,產生可靠的振蕩,從而實現高頻時鐘輸出。

比如BAW 諧振器使德州儀器的CC2652RBSimpleLink MCU 能夠在沒有外部晶體振蕩器的情況下運行。

MCU 的集成諧振器在不影響延遲的情況下減少了占據PCB的面積并最大限度地降低了物料清單 (BOM) 成本,并且它在整個工作溫度和工作電壓范圍內提供 ±40 ppm 的頻率穩定性。此外,2.4-GHz 多協議 MCU 提供超低抖動和相位噪聲以滿足各種無線通信標準的時鐘要求。

TI 還將 BAW 技術集成到其 LMK6C 低抖動、高性能、固定頻率振蕩器中。它在振動、沖擊、溫度穩定性和可靠性方面提供增強的抖動性能和改進的可靠性。

最重要的是,該技術還用于 TI 的 LMK05318 高性能網絡同步器時鐘設備,該設備提供抖動清除、時鐘生成和高級時鐘監控,以滿足通信基礎設施和工業應用的定時要求。該器件的超低抖動和高電源噪聲抑制 (PSNR) 可以降低貫穿互聯世界的高速串行鏈路中的誤碼率 (BER)。

BAW 與石英

新的 BAW 技術與古老的石英晶體振蕩器競爭,石英晶體振蕩器在計時參考市場占據主導地位超過一個世紀。但 BAW 具有顯著優勢:它消耗的功率更少,允許更小的系統設計,并簡化系統集成,同時提供與石英類似或更好的性能。

與 BAW 實施相比,對石英諧振器的回顧有助于說明它們的一些缺點。圖 2說明了一種實現石英振蕩器的方法——結合石英晶體、振蕩電路和輸出驅動器。

31f1bc9e-845e-11ed-bfe3-dac502259ad0.png

2. 一個簡單的石英振蕩器的輸出頻率取決于晶體(紅色)的選擇。

設置簡單,啟動時間快,但其頻率完全取決于所選晶體——改變頻率需要更換晶體,因此您需要為每個感興趣的頻率儲備不同批次的晶體。此外,這種振蕩器很少在超過大約 50 MHz 的基頻下工作,因為更高頻率的晶體難以制造。

圖 3中所示的方法克服了其中的一些缺點。在這里,晶體用作鎖相環 (PLL) 的參考,它可以產生G赫茲范圍內的頻率。小數輸出分頻器可通過內部集成電路 (I2C)接口進行編程,編程信息存儲在電可擦可編程只讀存儲器 (EEPROM) 中,生成所需的頻率。

321624c6-845e-11ed-bfe3-dac502259ad0.png

3. 小數輸出分頻器可對輸出頻率進行編程。

然而,這種方法比圖 2中的方法需要更多的核心塊,從而導致更大的封裝尺寸和更高的功耗。此外,啟動時間很慢,因為 PLL 需要 10 ms 或更長的時間來校準和鎖定。

圖 4顯示了一個帶有集成 BAW 諧振器的振蕩器,該諧振器取代了外部晶體。與圖 3的電路一樣,小數輸出分頻器根據存儲在存儲器中的編程值生成所需的頻率。TI可以采用四引腳或六引腳封裝(分別用于單端和差分輸出)制造此類設備。

325122d8-845e-11ed-bfe3-dac502259ad0.png

4. 具有單端輸出的 BAW 振蕩器適合四引腳工業標準封裝。

每個這樣的設備都將其電路集成在采用深亞微米工藝技術設計的基礎芯片上。位于同一位置的傳感器持續監控溫度變化,信號處理算法使用存儲在非易失性存儲器中的校準系數將頻率保持在 ±10 ppm 預算范圍內。低抖動低功耗小數輸出分頻器可實現溫度補償,同時對相位抖動的影響極小。除了溫度穩定性外,該器件還提供良好的相位噪聲性能,差分輸出版本將抖動限制在 125 fs。

基于 BAW 的設備包括內部低壓差穩壓器 (LDO),以提供改進的 PSNR。它還符合 MIL-STD-2007 Condition A 和 MIL-STD-2002Condition A 對沖擊和振動的要求,振動引起的頻率偏差限制在 1 ppb/g 左右。與石英振蕩器相比,這幾乎是一個數量級的改進。

FPGA 的時鐘生成

FPGA 設計通常需要靈活的高性能振蕩器或時鐘發生器 IC 來提供一個或多個時鐘輸入。FPGA 的串行器/解串器 (SERDES) 收發器通常依賴具有低集成均方根 (RMS) 抖動的外部參考時鐘來最大限度地減少收發器位錯誤。BAW 諧振器可以輕松生成 FPGA 設計所需的頻率。

對于需要從串行數據流中恢復時鐘信號的應用,串行可編程諧振器可以用作基于 FPGA 的時鐘數據恢復 (CDR) 電路中的數控振蕩器。

如圖 5所示,FPGA 邏輯實現了數字鑒相器和數字環路濾波器。后者通過I2C接口將控制字寫入可編程振蕩器寄存器。然后振蕩器根據這個環路濾波器控制字調整它的輸出頻率。跟蹤恢復時鐘所需的頻率調整通常以百萬分之一來衡量(例如,小于標稱值的 ±50 ppm)。

326ed260-845e-11ed-bfe3-dac502259ad0.png

5.數控可編程振蕩器服務于FPGA中實現的CDR電路。

結論

BAW 諧振器提供了擴展應用的靈活性,從包含 MCU 的物聯網邊緣設備到采用 FPGA 的高性能系統。帶有串行編程接口和板載 EEPROM 的版本提供了支持多種頻率和簡化整個產品生命周期的靈活性。與基于石英晶體的諧振器相比,體聲波諧振器將高性能、可靠性和可用性與較短的交貨時間和簡化的供應鏈管理相結合。





審核編輯:劉清

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
  • 微控制器
    +關注

    關注

    48

    文章

    7651

    瀏覽量

    152124
  • 振蕩器
    +關注

    關注

    28

    文章

    3847

    瀏覽量

    139368
  • 諧振器
    +關注

    關注

    4

    文章

    1132

    瀏覽量

    66054
  • BAW
    BAW
    +關注

    關注

    3

    文章

    121

    瀏覽量

    18753

原文標題:BAW(體聲波)技術及應用

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

收藏 人收藏

    評論

    相關推薦

    TI基于體身波諧振器技術的微型計時產品

    就會抖動或跳變,進而影響計時的精確性。近日,德州儀器(TI)發布了兩款全新的基于體身波(BAW, bulk acoustic wave)諧振器技術的核心產品。這些微型計時尺寸僅有10
    發表于 03-05 06:45

    TI BAW的5項技術要點

    德州儀器(TI)的創新技術 - 體聲波(BAW諧振器 - 通過提供業界先進的無晶體SimpleLinkTM無線微控制(MCU),使集成化更向前邁進了一步。TI
    發表于 07-15 07:12

    BAW諧振器技術的優勢

    什么是BAW技術BAW諧振器技術的優勢TI 突破性BAW
    發表于 01-25 06:59

    基于TI BAW技術的產品可為設計工程師提供哪些優勢?

    微型計時的工作原理是什么?什么是TI BAW諧振器?TI BAW諧振器有哪些影響?基于TI BAW
    發表于 06-17 06:19

    使用MEMS振蕩代替晶體諧振器的 8 大理由(一)

    每個電子系統都需要一個計時裝置。 晶體 (XTAL) 諧振器通常是首選解決方案。 然而,與 XTAL 相比,將諧振器與振蕩 IC 配對成一個完整的集成計時器件的振蕩器具有多項優勢。 MEMS
    發表于 11-11 08:00

    使用MEMS振蕩代替晶體諧振器的 8 大理由(二)

    ,MEMS 振蕩制造商使用標準的半導體批量模式技術。 這包括諧振器和振蕩 IC 的晶圓級生產,以及使用塑料封裝與標準引線框架進行芯片鍵合
    發表于 11-12 08:00

    使用MEMS振蕩代替晶體諧振器的 8 大理由(三)

    5. MEMS 振蕩對 EMI 的敏感度要低得多電磁能在大多數系統中很常見,可以通過將晶體諧振器連接到包含振蕩電路的 IC 的暴露 PCB 走線接收。 這種噪聲可以耦合到振蕩
    發表于 11-13 08:00

    BAW諧振器技術的優勢

    無論您是設計空間受限的樓宇安全系統還是要在惡劣的物理環境中使用的電動工具,都可以使用BAW諧振器技術。我們將BAW諧振器集成到多協議2.4-
    發表于 11-08 06:55

    PCMR體聲波諧振器多物理場仿真及芯片制作

    ,Agilent成為第一個在業界成功推出FBAR雙工的企業。FBAR由于其工作原理限制,無法實現單芯片多頻段的功能,隨著BAW概念和MEMS技術的進一步發展,另一種
    發表于 02-04 10:49 ?1次下載

    介紹村田MEMS諧振器的3大特征

    村田通過MEMS技術使該產品達到了小型化,并實現了與晶體諧振器相同的初始頻率精度(±20ppm)以上的頻率溫度特性(160ppm以下)(工作環境:-30?85℃)。
    的頭像 發表于 12-07 16:36 ?4920次閱讀
    介紹村田<b class='flag-5'>MEMS</b><b class='flag-5'>諧振器</b>的3大特征

    剖析Murata MEMS表面貼裝諧振器

    本期Digi-Key Daily向大家推介兩款產品——Murata 32.768kHz MEMS表面貼裝諧振器和STMicro的IIS2ICLX二軸數字傾角儀。1 產品一:Murata
    的頭像 發表于 11-05 14:40 ?2143次閱讀

    SiTime MEMS諧振器制造工藝

    的超高穩定性能至關重要。Epi-Seal密封工藝是業界唯一驗證的成熟技術,采用該技術生產的MEMS諧振器穩定性已達到甚至超過石英晶振。在高溫外延反應
    的頭像 發表于 12-07 17:50 ?3137次閱讀
    SiTime <b class='flag-5'>MEMS</b><b class='flag-5'>諧振器</b>制造工藝

    如何去分析BAW諧振器

    BAW諧振器的基本結構 :FBAR, BAW-SMR 等 ② BAW諧振器的常用分析模型:BVD/ mBVD, Mosen, FEM
    的頭像 發表于 09-21 09:55 ?1936次閱讀

    Baw諧振器制備工藝

    Baw諧振器常見的結構有體硅背刻蝕型、空氣腔型、固態裝配型、以及剪切模式等。視頻中僅僅是空氣腔型
    的頭像 發表于 10-27 09:48 ?1213次閱讀

    石英晶振、MEMS晶振、陶瓷諧振器、SAW諧振器是什么?有什么特點

    石英晶振、MEMS晶振、陶瓷諧振器、SAW諧振器是什么?有什么特點 石英晶振、MEMS晶振、陶瓷諧振器和SAW
    的頭像 發表于 12-18 13:57 ?1471次閱讀
    百家乐补第三张牌规则| 百家乐园会员注册| 鑫鼎百家乐官网的玩法技巧和规则| 百家乐官网三路秘诀| 百家乐官网游戏开发技术| 百家乐官网玩法与规则| 百家乐官网现金网排名| 娱乐城百家乐官网论坛| 百家乐官网最佳投注法下载| 玩百家乐官网去哪个平台好| 百家乐官网三路秘诀| 百家乐官网赌博破解| 百家乐官网扫描技术| 澳门百家乐官网路单| 百家乐专打单跳投注法| 百家乐任你博赌场娱乐网规则| 大发百家乐的玩法技巧和规则| 百家乐桌套装| 百乐坊百家乐娱乐城| 视频百家乐试玩| 百家乐官网最新投注方法| 百家乐官网路单之我见| 改则县| 必发娱乐| 赌博游戏平台| 色中色最新网址| 思南县| 百家乐官网小游戏开发| 百家乐官网游戏官网| 百家乐官网游戏机分析仪| 澳门百家乐官网家用保险柜| 百家乐官网双人操作分析仪 | 百家乐官网胜率被控制| 顺平县| 爱赢百家乐官网现金网| 百家乐官网算牌皇冠网| 在线百家乐官网官方网| 百家乐官网庄闲和各是多少| 额尔古纳市| 最新百家乐官网出千赌具| 打百家乐官网纯打庄的方法|