在半導體行業中工業靜電有哪些危害？
眾所周知，靜電是無處不在，無時不刻都在發生的，上一秒消除下一秒它又產生，從生活中的靜電到工業靜電，皆是如此。而在眾多工業領域中，靜電對半導體生產制造過程產生的影響額外明顯，所以半導體行業對靜電的防護要求也比其他行業要高，那么靜電對其的危害具體體現在哪些方面呢？
一、MOS結構元器件，由靜電過高引起的介質擊穿，造成短路
二、半導體結構元器件，由過熱引起的微等離子區二次擊穿
四、金屬化條結構（IC），靜電造成與焦耳熱有關的開路
五、壓電晶體結構元器件，由靜電干擾引起機械壓力震蕩過大，造成晶體斷裂
ESD智能實時監控系統，其中的靜電壓傳感器正是發現靜電的利器，多種sensor可選。
審核編輯黃宇
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