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激光干涉測量技術的特點是什么?

中圖儀器 ? 2022-08-03 16:39 ? 次閱讀

SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

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測量技術特點:

1.測量精度高、速度快,穩(wěn)定性好

①使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術,測量速度可達到4m/s。

④配合有環(huán)境補償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計,避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具,軟件界面人性化,操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦蠂鴥?nèi)用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準,價格是國內(nèi)儀器的良心價。

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