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高精度電流傳感器在真空鍍膜設(shè)備中的應(yīng)用

深圳航智 ? 2023-06-13 15:06 ? 次閱讀


真空鍍膜機(jī)作為一種關(guān)鍵設(shè)備,用于在真空環(huán)境下進(jìn)行薄膜涂覆。在光學(xué)鍍膜、金屬鍍膜等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)。對(duì)電流的準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)和控制是實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量薄膜的關(guān)鍵。傳統(tǒng)電流傳感器在真空環(huán)境中存在溫漂大、精度低等問(wèn)題,制約了真空鍍膜機(jī)的性能和工藝穩(wěn)定性。

wKgaomSH5xeAecozABq6_qCHk5o592.png真空鍍膜設(shè)備


傳統(tǒng)解決方案:

電流傳感器在真空鍍膜機(jī)上的應(yīng)用主要是用于監(jiān)測(cè)和控制電流。在真空鍍膜機(jī)中,由于高真空環(huán)境下的溫度變化較大,傳感器可能會(huì)受到溫度的影響,導(dǎo)致輸出電流值出現(xiàn)偏差。如果電流傳感器的溫漂較大,會(huì)使得系統(tǒng)的電流控制不準(zhǔn)確,從而影響薄膜的沉積速率和厚度均勻性。如果電流傳感器的精度較低,即輸出的電流值與真實(shí)值存在較大的偏差,將會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)無(wú)法準(zhǔn)確控制沉積速率和薄膜厚度。特別是對(duì)于一些對(duì)薄膜質(zhì)量要求較高的應(yīng)用,如光學(xué)鍍膜,精度不高的電流傳感器可能導(dǎo)致薄膜的光學(xué)性能不穩(wěn)定或不符合規(guī)格要求。傳統(tǒng)方式中常用的是霍爾電流傳感器來(lái)檢測(cè)電流值。然而,傳統(tǒng)霍爾電流傳感器存在溫差較大和精度不足等問(wèn)題,這制約了真空鍍膜機(jī)的性能和穩(wěn)定性。


航智產(chǎn)品解決方案:

為了解決這些問(wèn)題,航智提出了一種基于磁通門(mén)技術(shù)原理的電流傳感器方案。高精度、低零漂的特點(diǎn)完全符合真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用要求。

通過(guò)精確測(cè)量和控制電流,高精度電流傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)更準(zhǔn)確的沉積速率和厚度控制,從而提高薄膜的均勻性和質(zhì)量穩(wěn)定性。光學(xué)鍍膜等對(duì)薄膜質(zhì)量要求較高的應(yīng)用中,高精度電流傳感器能夠幫助實(shí)現(xiàn)更高的光學(xué)性能和表面平整度。

精確的電流測(cè)量和控制有助于優(yōu)化工藝參數(shù),提高真空鍍膜機(jī)的生產(chǎn)效率。通過(guò)精細(xì)調(diào)節(jié)電流,可以實(shí)現(xiàn)更快的沉積速率或更節(jié)約的能源消耗,從而提高設(shè)備的利用率和產(chǎn)量。

高精度電流傳感器的穩(wěn)定性更好,能夠減小電流測(cè)量的漂移和波動(dòng),提高工藝的穩(wěn)定性。穩(wěn)定的電流控制有助于減少薄膜的波動(dòng)和不均勻性,提升產(chǎn)品一致性和可重復(fù)性。

航智電流傳感器在真空鍍膜機(jī)中的應(yīng)用能夠有效解決傳統(tǒng)方案痛點(diǎn),提高薄膜質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性,提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品一致性,為真空鍍膜機(jī)帶來(lái)更大的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用潛力。

航智HIT系列電流傳感器是一種基于磁通門(mén)原理的產(chǎn)品,專(zhuān)為大批量替代霍爾電流傳感器而設(shè)計(jì)。與閉環(huán)霍爾電流傳感器相比,HIT系列傳感器在性能上表現(xiàn)更出色。其精度可達(dá)0.05%,遠(yuǎn)高于閉環(huán)霍爾效應(yīng)電流傳感器的0.2%。此外,HIT系列傳感器的帶寬可達(dá)100kHz,比閉環(huán)霍爾電流傳感器提高了2倍。同時(shí),HIT系列傳感器實(shí)現(xiàn)了小型化設(shè)計(jì),接口和體積與霍爾電流傳感器相同,方便直接替換使用。該系列產(chǎn)品型號(hào)有:HIT50、HIT100、HIT200、HIT300、HIT500、HIT600,可對(duì)50A到600A的DCAC和脈沖電流進(jìn)行測(cè)量。

wKgZomSH50OAdX7yACE1Qewr92g537.pngHIT系列高精度電流傳感器

HIT系列高精度電流傳感器

高精度:0.05%
電流范圍:10A~1000A可選
全量程:?jiǎn)蝹€(gè)產(chǎn)品1%-100%精度保持一致
溫漂小:一致性好,溫度影響,0.1PPM/度
線性度:達(dá)到50ppm
寬頻帶寬:高達(dá)100kHz @±3 dB
響應(yīng)時(shí)間:1μs
工作溫度范圍:-40..+85 °C
穩(wěn)定性(0.2 ppm/月)
交直流通用:可測(cè)量交流、直流、脈沖電流
智能化:帶載啟動(dòng)過(guò)載保護(hù),自恢復(fù)

公司介紹

深圳市航智精密電子有限公司是一家致力于高精度電流傳感器、電壓傳感器、高精度電測(cè)儀表的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及方案定制的技術(shù)先導(dǎo)型企業(yè)。我們著力打造直流領(lǐng)域精密電流傳感器及精密電測(cè)儀表的知名品牌,力爭(zhēng)發(fā)展成為國(guó)際領(lǐng)先的直流系統(tǒng)領(lǐng)域精密電子的領(lǐng)軍企業(yè)。

wKgZomSH53GAImxZAACs7I2aV98740.png
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