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ASML和IMEC宣布共同開發(fā)high-NA EUV光刻試驗(yàn)線

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-06-30 09:29 ? 次閱讀

6月29日,比利時(shí)微電子研究中心(imec)和阿斯麥asml宣布,將在高端high-na極紫外線(euv)光馬托格測試線的下一階段加強(qiáng)合作。

據(jù)悉,簽署的諒解備忘錄包括在比利時(shí)魯汶設(shè)置imec測試線及asml的所有尖端光標(biāo)及測量設(shè)備的服務(wù)。最新款0.55 na euv (twinscan exe:5200)、最新款0.33 na euv (twinscan nxe:3800)、duv淬火(twinscan nxe: 2100i)、yieldstar光學(xué)測量、hmi多光束。

報(bào)道指出,這兩家企業(yè)在光控圖表和測量技術(shù)方面的合作,與歐盟及其成員國的前景和計(jì)劃是一致的。因此,imec和asml的合作被納入荷蘭政府目前正在討論的ipcei提案。

asml的總裁兼首席執(zhí)行官peter wennink表示,asml為促進(jìn)歐洲半導(dǎo)體研究和持續(xù)創(chuàng)新,在imec最尖端測試設(shè)備上做出了重要承諾。隨著人工智能ai)迅速擴(kuò)展到自然語言處理、電腦視覺、自律系統(tǒng)等,業(yè)務(wù)的復(fù)雜性越來越大。因此,開發(fā)在不耗盡地球?qū)氋F能源資源的情況下,滿足這種計(jì)算需求的芯片技術(shù)是最重要的。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
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