據(jù)天眼查公司透露,上海國(guó)納半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的“晶圓盒搬運(yùn)裝置及方法”專利于7月11日公布,申請(qǐng)編號(hào)為cn116417389a。
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紀(jì)要顯示,本發(fā)明專利晶片箱搬運(yùn)裝置及方法,公開(kāi),其中晶片箱子運(yùn)輸裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)制的作用下,沿著軌道移動(dòng)的w行走機(jī)構(gòu)組成,驅(qū)動(dòng)機(jī)制行走機(jī)構(gòu)位移檢查機(jī)制的第1部設(shè)有位移檢查。同步移動(dòng)器具包括電動(dòng)齒輪和齒輪,齒輪固定連接在鋼軌上,齒輪安裝在浮動(dòng)機(jī)構(gòu)上,浮動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在步行器具上,可以與步行器具同時(shí)移動(dòng)。
浮動(dòng)機(jī)構(gòu)可以推動(dòng)齒輪與齒輪相對(duì)不同,齒輪上設(shè)有第二位移檢測(cè)部,用以檢測(cè)其位移。同步移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括檢查齒輪是否跳出來(lái)的檢查部,位移修正裝置,修正裝置根據(jù)修正部的修正結(jié)果測(cè)定修正第一位移檢測(cè)部或第二位移檢測(cè)部的位移。
據(jù)悉,該發(fā)明的晶圓盒搬運(yùn)裝置及方法可以通過(guò)調(diào)整和修改移動(dòng)銅的位移,保證移動(dòng)銅位移的準(zhǔn)確度。
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晶圓
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驅(qū)動(dòng)
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