我國在二維半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破!
近日,來自松山湖材料實(shí)驗(yàn)室/北京大學(xué)教授劉開輝、中國科學(xué)院院士王恩哥團(tuán)隊(duì),以及松山湖材料實(shí)驗(yàn)室/中國科學(xué)院物理研究所研究員張廣宇團(tuán)隊(duì)的最新研究成果在Science Bulletin(科學(xué)通報)在線發(fā)表。該研究題為《模塊化局域元素供應(yīng)技術(shù)批量制備12英寸過渡金屬硫族化合物》。
Science Bulletin是由中科院、國自然基金委、Elsevier聯(lián)合出版的自然科學(xué)綜合性期刊,其前身是Chinese Science Bulletin。
論文表示,該團(tuán)隊(duì)采用局域元素供應(yīng)技術(shù),成功地將過渡金屬硫族化合物晶圓尺寸從2英寸擴(kuò)展至與現(xiàn)代半導(dǎo)體材料接軌的12英寸,并通過垂直堆疊多個模塊層的策略,成功實(shí)現(xiàn)其大規(guī)模批量化生產(chǎn)的能力。
隨著晶體管尺寸接近其物理極限,摩爾定律步伐減緩,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展亟需探索新型材料。
二維半導(dǎo)體材料由于其本身物理結(jié)構(gòu)優(yōu)勢及電學(xué)性質(zhì)特點(diǎn),在半導(dǎo)體的發(fā)展中具有巨大潛力。
與傳統(tǒng)半導(dǎo)體類似,二維半導(dǎo)體的低成本、大規(guī)模、批量制備是其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用所面臨的難題。該研究成果為實(shí)現(xiàn)二維半導(dǎo)體規(guī)模化制備提供了新的技術(shù)方案,有望推動二維半導(dǎo)體材料從實(shí)驗(yàn)研究向產(chǎn)業(yè)應(yīng)用過渡。
審核編輯 黃宇
-
半導(dǎo)體
+關(guān)注
關(guān)注
334文章
27711瀏覽量
222651 -
晶圓
+關(guān)注
關(guān)注
52文章
4975瀏覽量
128315
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
晶馳機(jī)電8英寸碳化硅電阻式長晶爐順利通過客戶驗(yàn)證

天域半導(dǎo)體8英寸SiC晶圓制備與外延應(yīng)用

碳化硅襯底,進(jìn)化到12英寸!

三菱電機(jī)供應(yīng)12英寸功率半導(dǎo)體芯片
半導(dǎo)體研究所在量子點(diǎn)異質(zhì)外延技術(shù)上取得重大突破

芯豐精密第二臺12寸超精密晶圓減薄機(jī)成功交付
功率氮化鎵進(jìn)入12英寸時代!
又一企業(yè)官宣已成功制備8英寸SiC晶圓
信越化學(xué)推出12英寸GaN晶圓,加速半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新
晶盛機(jī)電減薄機(jī)實(shí)現(xiàn)12英寸30μm超薄晶圓穩(wěn)定加工
增芯科技12英寸晶圓制造項(xiàng)目投產(chǎn)啟動,內(nèi)含國內(nèi)首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓生產(chǎn)線
二維材料 ALD 的晶圓級集成變化

評論