來源：半導(dǎo)體芯科技編譯

干法等離子蝕刻工藝中的污染最小。

Greene Tweed推出了全氟彈性體Chemraz G57，由Greene Tweed材料科學(xué)家和應(yīng)用工程師專門研發(fā)，用來滿足侵蝕性干法等離子系統(tǒng)和其他要求極高的半導(dǎo)體制造密封應(yīng)用的需求。

Chemraz G57全氟彈性體的獨(dú)特制備方法可增強(qiáng)等離子體耐受性并最大限度地減少污染，從而減少停機(jī)時(shí)間并提高晶圓加工產(chǎn)量。Chemraz G57主要推薦用于靜態(tài)和動態(tài)氧化物蝕刻晶圓加工應(yīng)用，可在高達(dá)572°F/300°C的工作溫度下仍保持穩(wěn)定。

Chemraz G57擁有幾乎通用的化學(xué)兼容性和所有彈性體材料中最廣泛的耐化學(xué)性，非常適合廣泛的密封應(yīng)用，包括端點(diǎn)窗口、鐘罩密封件、閥件密封件、KF管線接頭密封件、窗戶密封件、隔離閥密封件、蓋密封件、氣體管線密封件、狹縫閥門密封件和反應(yīng)槽密封件等。

Greene Tweed可提供高度定制的解決方案，保證在半導(dǎo)體行業(yè)極具挑戰(zhàn)性的操作條件下提供卓越性能。其先進(jìn)的彈性體密封件和熱塑性部件組合遍布全球半導(dǎo)體工廠關(guān)鍵工藝領(lǐng)域的各種關(guān)鍵設(shè)備，包括蝕刻、沉積、水性和電化學(xué)（電鍍）等。

2023年6月，Greene Tweed宣布在韓國的新制造工廠奠基儀式舉行，該工廠是為了擴(kuò)大其Chemraz FFKM產(chǎn)品線的全球產(chǎn)能，滿足半導(dǎo)體行業(yè)不斷增長的需求。

審核編輯 黃宇