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介紹一種基于ICP-MS的硅材料痕量金屬檢測方法

上海季豐電子 ? 來源:上海季豐電子 ? 2023-07-27 17:49 ? 次閱讀

隨著硅材料在半導體光電子領域的應用日益廣泛,痕量金屬元素對材料性能和質量的影響越來越大,高精度的硅材料痕量金屬檢測方法顯得尤為重要。

季豐電子基于ICP-MS的硅材料痕量金屬檢測方法,具有高分辨率、高靈敏度和元素范圍廣泛的優勢,能夠同時檢測多種金屬元素,檢出限達到ppt(parts per trillion)級別,相當于從100萬立方米的水中測出1g物質。

季豐電子實驗室設備先進,擁有千級潔凈度的實驗環境,實驗員操作經驗豐富,實驗室體系運轉良好。

在樣品前,實驗室會使用G5級別超純酸前處理,金屬雜質含量低于10ppt以此保證前處理過程不受污染,確保樣品分析準確性。

在痕量金屬檢測方面,季豐電子CA實驗室能夠提供以下服務:

多晶硅、硅片表金屬及體金屬

雜質檢測

多晶硅、硅片是半導體制造的重要原材料,其中的金屬雜質對半導體器件的性能和穩定性有著重要影響。我們實驗室能夠對多晶硅、硅片表金屬以及體金屬雜質進行高靈敏度、高精度的檢測,可達到ppt級別的金屬雜質含量。

超純酸金屬雜質檢測

超純酸是半導體制造中常用的重要化學試劑,其中的金屬雜質會直接影響半導體器件的性能。我們實驗室能夠對超純酸中的金屬雜質進行檢測,檢測精度達到ppt級別。

其他半導體相關材料痕量金屬檢測

除了多晶硅、硅片和超純酸,我們實驗室還能夠對PE袋、手套、特種氣體等相關材料中的其他金屬雜質進行痕量分析,如鎢、銅、鐵、鎳等,檢測精度同樣可以達到ppt級別。






審核編輯:劉清

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原文標題:高精度ICP-MS技術在硅材料痕量金屬檢測中的應用

文章出處:【微信號:zzz9970814,微信公眾號:上海季豐電子】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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