湖南三安“晶圓尋邊裝置”專利獲授權
天眼查結果顯示，湖南三安半導體有限責任公司的“晶圓尋邊裝置”專利被批準。許可公告日為9月26日，許可公告號為cn219759550u。
本實用新型專利摘要據公開找到一種晶片邊裝置，半導體制造相關輔助裝置技術領域，通過推片機構來將放置在承載臺負載區域的第一卡塞內的晶圓推入放置在過渡區域的第二卡塞內，以免手動推片替換卡塞導致晶圓臟污甚至碎片的風險，并將第二卡塞移動到邊緣探索區域，尋找邊緣接觸到第二卡塞內的晶圓，利用平板邊緣特性的晶圓片的邊緣尋找可以更加精密地進行。
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