中國航天科技集團有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進工業領域實現自主可控和升級換代提供核心關鍵產品。

“高精度MEMS諧振式壓力傳感器涉及電子、機械、材料、熱學、力學、化學等多學科的復雜交互融合，涵蓋基礎理論、設計、工藝制程、封裝測試、設備裝備等多個產業鏈環節”。704所相關項目負責人介紹。

萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器主要技術指標比傳統應變式、壓阻式、電容式等原理的壓力傳感器高1~2個數量級，且具有數字化輸出、抗干擾、長壽命和抗輻照等優點，技術指標、穩定性、可靠性和環境適應性均達到國際先進水平。目前，該產品已應用于航天發動機壓力監測、航空大氣數據系統等領域。

從航天航空應用到民用市場全面拓展。704所大力推進萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器在海洋、氣象、計量校準、過程工業、石油化工、能源等行業的產業化應用。目前，萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器已應用于海洋監測、氣象觀測等領域，為實現航天技術產業價值奠定了扎實的基礎。

后續，704所將基于核心MEMS敏感芯片和傳感器技術，進一步開發高端儀器和感知測量系統，形成“芯片+傳感器+儀器+系統”的信息感知模式，推進產品譜系化、規模化、產業化發展。

編輯：黃飛