上海伯東提供半導體新材料和設備管道檢漏解決方案， 助力企業生產高質量的六氯乙硅烷 Si?Cl?。 六氯乙硅烷廣泛應用于有機硅化合物的合成， 電子半導體材料制造。

半導體新材料和設備檢漏： 提升產品良率

半導體生產設備及其相關設施一般在真空環境下工作， 任何一處出現泄漏都可能導致包括產量下降， 產品不達標或嚴重安全風險。 因此， 在潔凈室之內或在任何維護干預之后， 密封性檢漏是必須的步驟。 上海伯東提供全面的氦質譜檢漏解決方案， 確保生產設施從工藝室到排氣系統的真空完整性。

檢漏要求： 高精度， 清潔無油， 快速檢測， 盡可能縮短停機時間

在真空環境下工作的半導體制造設備氦質譜檢漏方法：為了確保最終產品的質量， 真空設施需要避免任何污染。 在安裝任何工具或者維護腔室之后， 推薦使用檢漏儀真空模式進行設備的密封性測試。 氦質譜檢漏儀在真空條件下直接連接到設備， 通過將示蹤氣體氦氣噴灑到可能泄漏源的周圍 （比如焊縫， 接頭， 閥門等處）， 即可定位， 定量檢測到存在的漏點。 真空模式下漏率 1X10-10 mbar l/s.

在壓力下工作的氣體管路和機柜氦質譜檢漏方法：

由于工藝氣體對自然環境的潛在危害， 此類管線在投入運行前需要通過測試。 推薦使用氦質譜檢漏儀吸槍模式， 要測試的管線在壓力下充滿氦氣。 檢漏儀吸槍探頭可以探測可能逸出的氦氣。 吸槍模式下， 漏率 1X10-8 mbar l/s

針對不同的工況， 上海伯東提供合適的半導體設備檢漏方案

當復雜系統或大容量系統 （例如處理室或前級管線） 上發生泄漏時， 需要大抽速檢漏儀以加快泄漏檢測過程， 從而減少設備停機時間。 推薦使用氦質譜檢漏儀 ASM 390 或 ASM 392

對于過壓系統或難以進入測試區域的情況， 推薦便攜式檢漏儀 ASM 310 提供較大靈活性的同時又不影響性能和靈敏度。

上海伯東提供全系列氦質譜檢漏儀， 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用。 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏， 利用氦氣作為示蹤氣體可定位， 定量漏點。 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏， 也可集成在檢漏系統或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 》》