金屬氧化物半導體氣體傳感器通常存在選擇性不好和工作溫度高的問題。傳統的基于金屬氧化物的氣體傳感器通常在較高的溫度下工作，這進一步增加了能耗。此外，高工作溫度可能限制它們在商業和工業應用中的使用，特別是在易爆氣體環境中。而且，高工作溫度會導致傳感器壽命縮短和性能不穩定。為了降低傳感器的工作溫度，先前的文獻中報道了不同的方法，例如表面裝飾不同的催化劑材料、摻雜貴金屬、紫外（UV）光照射等。其中，紫外光照射因其可降低光催化金屬氧化物氣體傳感器（如TiO?）的工作溫度而引起了廣泛關注。

選擇性不好是金屬氧化物氣體傳感器的另一個缺點，它可以通過多種技術進行改善。其中一種方案是使用由多種傳感元件組成的氣體傳感器陣列。每個傳感元件與目標氣體具有特定的相互作用。盡管陣列的每個組件的單獨響應不具有區分性，但所有傳感元件的組合響應會為每種分析物產生獨特的特征。

溫度調制是增強選擇性的另一主要方法。該技術基于向傳感器的加熱元件施加可變電壓波形，從而可在金屬氧化物氣體傳感器上產生不同的溫度。金屬氧化物氣體傳感器的響應與溫度強相關，傳感器的溫度變化導致各種響應模式，提供與氣體相關的信息。提取這些信息有助于進行氣體識別。

據麥姆斯咨詢報道，近日，伊朗德黑蘭大學（University of Tehran）和加茲溫醫科大學（Qazvin University of Medical Sciences）的研究人員組成的團隊在IET Science, Measurement & Technology期刊上發表了題為“Intensity modulation of UV light in gas sensor array to discriminate several analytes at room temperature”的論文，提出了一種基于氣體傳感器陣列和紫外光強度調制的新技術，用于在室溫下識別多種還原性氣體。

在這項研究中，研究人員制造了基于TiO?納米纖維的氣體傳感器陣列，并對該傳感器陣列進行了不同強度的紫外光激勵。為了對紫外光進行強度調制，階梯波形電壓被施加到365 nm的紫外LED。為了評估所提出技術的有效性，引入了五種不同的氣體作為目標氣體，包括不同濃度水平的丙酮、甲醇、乙醇、2-丙醇和一氧化碳（CO）。

氣體傳感器陣列由兩個覆蓋有TiO?納米纖維的叉指微電極組成。每個傳感器由42個電極指對組成，指長、指間隙和指寬分別為3 mm、40 μm和30 μm。TiO?納米纖維是通過靜電紡絲技術生產的。氣體傳感器陣列示意圖如圖1所示。

圖1 氣體傳感器陣列示意圖

一些學者已經研究并報道了金屬氧化物氣體傳感器在紫外線照射下的氣體傳感機理（如圖2所示）。

圖2 紫外線激勵的室溫氣體傳感機理示意圖

圖3是用于記錄所制造的傳感器陣列響應的實驗設置示意圖。實驗中使用了一個密封氣室（10 L容積）和不同濃度水平的分析物（如丙酮、甲醇、乙醇、2-丙醇和CO，濃度范圍為 50至500 ppm）。除CO外，其它分析物均以液態形式通過采樣器引入氣室，并通過加熱器在室中蒸發。預定體積的CO氣體通過Hamilton注射器注入氣室。小型電風扇被用于使氣室的氣氛均勻化。紫外LED（365 nm）被用作光源。

圖3 實驗設置示意圖

為了對紫外光進行強度調制，研究人員向紫外LED施加了一個階梯波形電壓。階梯波形電壓包括三個階梯電壓（3.4 V、3.6 V和3.8 V），在與紫外LED確定距離處測得的功率分別約為450、560和680 μW/cm2。圖4顯示了應用于氣體傳感器陣列的紫外光強度調制示意圖。在每次實驗中，氣體傳感器陣列暴露于分析物中，上述階梯波形電壓被施加到紫外LED上。

圖4 應用于氣體傳感器陣列的紫外光強度調制示意圖

圖5展示了將獲得的實驗數據映射到3D特征空間的主成分分析（PCA）結果。如圖5所示，所有檢測的分析物在室溫下被完全區分。研究人員對傳感器陣列的重復性進行了10個周期的評估，每個傳感器的相對標準偏差（RSD）低于8%。

圖5 氣體傳感測試實驗結果

綜上所述，本研究提出了一種基于氣體傳感器陣列和紫外光強度調制的新技術，用于在室溫下識別多種還原性氣體。所檢測的氣體為不同濃度的乙醇、甲醇、2-丙醇、丙酮和CO。利用最簡單的降維技術，所有目標氣體在室溫下都得到了顯著的分離。本研究首次提出了基于紫外光強度調制的真實陣列和虛擬陣列相結合的方法，有望為研究光催化金屬氧化物氣體傳感器的選擇性開辟一條有效途徑。所提出的技術可以增加每種分析物的特定特征數。該方法的其他優點還包括：延長傳感器的使用壽命、無需溫度控制電路以及可檢測易燃氣體等。該技術具有成本效益，可用于制造便攜式氣體識別系統。所提出的技術有望滿足許多氣體傳感應用的需要。

審核編輯：劉清