工信部就干法刻蝕設備測試方法等行業標準公開征集意見
據工信部網站11月16日消息，工信部公開征集了《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196個行業標準、1個行業標準外文版、38個推薦性國家標準計劃項目的意見。根據標準化工作的總體安排，公信部將公布目前申請項目批準的《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196個行業標準，《雪蓮養護貼》等1個行業標準外文版項目和《環境污染防治設備術語》等38個推薦性國家標準計劃項目。截止日期為2023年12月16日。
其中《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》對主要起草單位中國電子科技集團公司第48研究所、中國電子技術標準化研究院、湖南楚微半導體科技有限公司，中芯國際集成電路制造有限公司，北京北方華創微電子裝備有限公司，中微半導體設備（上海）有限公司，合肥晶合集成電路股份有限公司等。
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