一年一度的全球半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)SEMICON China于3月20日在上海新國際博覽中心拉開帷幕。作為國內(nèi)首家EDA上市公司，概倫電子亮相此次盛會(huì)，現(xiàn)場(chǎng)發(fā)布了其最新的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試與全自動(dòng)解決方案，包括低漏電矩陣開關(guān)FS821、傳感微結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)試儀FS-MEMS及自動(dòng)量測(cè)解決方案ATS。

國內(nèi)半導(dǎo)體量測(cè)行業(yè)亟需創(chuàng)新

隨著新興技術(shù)和市場(chǎng)不斷興起，芯片的復(fù)雜性和集成度不斷提升，行業(yè)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)也在不斷提高。更先進(jìn)的制程工藝、更高的良率、更大的產(chǎn)能成為半導(dǎo)體行業(yè)迫切需要面對(duì)和解決的問題。

楊廉峰博士概倫電子董事、總裁

半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展需要通過集成創(chuàng)新的量測(cè)解決方案，來打破傳統(tǒng)儀器固有的不足和局限。概倫電子一貫致力于為半導(dǎo)體行業(yè)提供創(chuàng)新的解決方案，我們期待利用自身在半導(dǎo)體電特性測(cè)試和技術(shù)開發(fā)等領(lǐng)域的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合已具備國際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵EDA工具，進(jìn)行DTCO的應(yīng)用和創(chuàng)新探索，與生態(tài)伙伴一起，共同推動(dòng)中國半導(dǎo)體量測(cè)的創(chuàng)新和發(fā)展，為半導(dǎo)體工藝平臺(tái)開發(fā)、芯片設(shè)計(jì)和EDA應(yīng)用提供高效、高質(zhì)量、高附加值的數(shù)據(jù)支撐。

概倫電子的電特性測(cè)試系統(tǒng)與EDA產(chǎn)品軟硬件協(xié)同，覆蓋半導(dǎo)體器件電學(xué)特性測(cè)試、低頻噪聲特性測(cè)試、晶圓級(jí)電學(xué)參數(shù)測(cè)試和可靠性測(cè)試等領(lǐng)域。此次SEMICON China展會(huì)上，概倫從多個(gè)維度展示了其最新的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試與全自動(dòng)解決方案。

低漏電矩陣開關(guān) FS821

FS821低漏電矩陣開關(guān)是概倫電子最新推出的一款自動(dòng)測(cè)試支撐設(shè)備，主要用于在半導(dǎo)體器件測(cè)試中分配測(cè)試資源，自動(dòng)切換測(cè)試信號(hào)通路。

FS821低漏電矩陣開關(guān)性能卓越，支持最大200V/1A直流范圍，偏移電流可降至100fA，指標(biāo)達(dá)國際領(lǐng)先水平，可無縫替代同類商業(yè)產(chǎn)品。其先進(jìn)的設(shè)計(jì)可與常見的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀無縫搭配，滿足各類器件研究、高精度測(cè)試和自動(dòng)化測(cè)試需求，是半導(dǎo)體量測(cè)的基礎(chǔ)設(shè)備之一。

傳感微結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)試儀 FS-MEMS

FS-MEMS是一款集成傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)試功能的系統(tǒng)，為MEMS傳感器電學(xué)參數(shù)提供晶圓級(jí)解決方案，可滿足不同客戶的定制化需求。

該系統(tǒng)內(nèi)置數(shù)字IO模塊，搭配智能探卡，無需更換線纜，通過一鍵操作即可完成動(dòng)態(tài)和靜態(tài)參數(shù)測(cè)試，全面覆蓋電流電壓（IV）、電容電壓（CV）、漏電、電阻、諧振頻率、Q值、正交系數(shù)、-3dB帶寬等關(guān)鍵電學(xué)參數(shù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)試。FS-MEMS可廣泛應(yīng)用于MEMS器件的研發(fā)、生產(chǎn)和量產(chǎn)測(cè)試，通過自有專利的時(shí)域衰減法技術(shù)，可在保持測(cè)試精度的同時(shí)提升測(cè)試效率，配合多通道測(cè)試技術(shù)提高測(cè)試產(chǎn)率，已獲得多家專業(yè)用戶的認(rèn)可。

自動(dòng)量測(cè)解決方案 ATS

ATS自動(dòng)量測(cè)解決方案是概倫電子基于FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、981X系列噪聲分析儀和低漏電矩陣開關(guān)等自研硬件設(shè)備開發(fā)的全自動(dòng)測(cè)試解決方案。該方案以全面的概倫自主研發(fā)的軟硬件作為系統(tǒng)集成基礎(chǔ)，涵蓋電流電壓（IV）、電容電壓（CV）、脈沖式IV、高速時(shí)域信號(hào)采集、低頻噪聲測(cè)試以及多種可靠性測(cè)試，是業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的完整低頻特性測(cè)試解決方案，可滿足各類半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室在晶圓級(jí)電學(xué)參數(shù)測(cè)試、器件模型數(shù)據(jù)測(cè)試和晶圓級(jí)可靠性測(cè)試等多方面的自動(dòng)化量測(cè)需求。

該方案整合了FS-Pro的基本電性參數(shù)測(cè)試、9812的黃金標(biāo)準(zhǔn)低頻噪聲測(cè)試，以及符合產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的可靠性測(cè)試，打通了和公司先進(jìn)建模提參工具之間的配合，形成了面向器件電學(xué)模型和可靠性模型的、從數(shù)據(jù)到建模的全套流程，具有行業(yè)標(biāo)桿意義。憑借概倫設(shè)備的優(yōu)異性能和獨(dú)特功能，該方案可滿足各類半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室復(fù)雜多變的需求，提升開發(fā)測(cè)試效率，加速半導(dǎo)體器件與工藝研發(fā)的迭代，是DTCO應(yīng)用中的重要組成部分。

在廣闊市場(chǎng)需求和技術(shù)演進(jìn)的推動(dòng)下，概倫電子未來將持續(xù)圍繞工藝與設(shè)計(jì)協(xié)同優(yōu)化進(jìn)行技術(shù)和產(chǎn)品的戰(zhàn)略布局，致力于以目前擁有的核心EDA技術(shù)為基礎(chǔ)，提供專業(yè)高效的EDA流程和工具支撐，以及半導(dǎo)體器件特性測(cè)試和一站式技術(shù)開發(fā)解決方案等多方位服務(wù)，提高集成電路行業(yè)的整體技術(shù)水平和市場(chǎng)價(jià)值。

審核編輯：劉清