據天眼查資料,上海華虹宏力半導體近日獲批一項名為“半導體器件”的專利,其編號為CN113192948B,發布日期為2024年4月5日,申請時間為2021年4月27日。
該發明涉及一種半導體器件,包含底座,又劃分為第一和第二園區,一個位于另兩個鄰側之間;兩個子漏區,坐落于底座的第一園區;虛擬結構,位于兩子漏區間的底座上;源區,位于底座的第二園區;柵極結構,位于第一和第二園區之間的底座上。此發明通過虛擬結構提升器件的ESD性能,無需現有技術的SAB光罩或引入新工藝流程,可直接在制造過程中同步構建虛擬結構,從而降低器件的生產成本。
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