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佳能2024年將發布第六代玻璃基板FPD曝光設備新品MPAsp-E100

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2024-05-28 11:55 ? 次閱讀

2024 年 6 月初,佳能中國宣布將于市場推出支持第六代玻璃基板的全新 FPD 曝光設備——MPAsp-E1003H。FPD 即平板顯示器,有多種類型如 LCD、OLEDLED、PDP、ELD、FED、投影顯示等等。

據悉,此款設備采用投影光學系統,具備高達 1.5μm 的分辨率以及擴大近 1.2 倍的曝光幅面,有助于提高生產效率。該投影光學系統曾應用于“MPAsp-H1003H”,成功用于生產 65 英寸面板,滿足大型電視等需求。

在生產智能手機面板等產品時,新設備只需 4shot 曝光,相較之前的 6shot 曝光,生產性能顯著提升。此外,在生產車載橫向大型特殊顯示器時,新設備亦可實現無接縫 2shot 曝光。值得注意的是,新設備驅動速度提升約 60%,tact time 提升約 14%,極大地提高了量產效率。

佳能指出,新設備不僅采用與支持第六代玻璃基板的“MPAsp-E813H”相同的多點同時測量對位方式,確保高效生產的同時保持高精度曝光,而且搭載了新研發的非線性補正 REI 模塊,即便曝光幅面擴大仍能達到±0.30μm 的高套刻精度。

此外,新設備延續了“MPAsp-H1003H”的超分辨率技術,配備照明模式切換機構,可根據圖案種類切換照明模式,適應各種制造工序的曝光需求。

在形成圓弧光的機構中,新設備配置曝光狹縫自動調整機構(SIC),通過自動調節光線通過的狹縫寬度,改變曝光光線的強度分布,以實現穩定的曝光線寬。

同時,新設備采用universe chuck,可根據曝光布局自由選擇玻璃基板縱橫方向,首次實現滿足車載顯示器多樣化布局需求。佳能表示,MPAsp-E1003H 通過強化制造工序的工藝應對能力,確保制造質量更穩定。

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