ESD HBM測試結果差異較大的原因,通常包括設備/儀器差異、?校準和維護水平不同、?環(huán)境條件差異、?測試樣本差異、?測試操作員技能和經(jīng)驗差異以及測試方法選擇的不同。
其中,可能導致結果差異較大的首先應屬于設備和儀器差異,其次是測試操作員技能和經(jīng)驗,其他原因一般不會導致特別大的差異。
季豐電子ESD實驗室已通過ANSI20.20的環(huán)境認證、CNAS、IEC17025等管理體系的認證,實驗室對設備校準和環(huán)境的管理十分嚴格,可以有效保證檢測結果的準確性和時效性。
案例分析
案例描述:OUT 管腳對VDD管腳打負向靜電,一個結果PASS -6000V,一個結果-2500V失效,同批次的芯片經(jīng)過了功能篩選,使用的同一家品牌的設備測試HBM,同一家實驗室,然而出現(xiàn)了結果差異較大的問題。
有了以上的信息支撐,實驗室在對比了測試程序,測試方案及方法,同一個程序,同一個設備,同樣的測試規(guī)范,沒有發(fā)現(xiàn)有什么問題。最后確認是使用了不同的通道導致的差異。問題是,到底是測試板的問題還是放電通道的問題,是不是通道放電異常導致的呢?實驗室直接抓取了兩個測試板使用的對應通道的短路放電電流波形,如下所示:
如圖AB,從圖中可得知
放電能力相當,而懷疑點恰恰在于上升沿Tr參數(shù)有略差,A 圖中Tr 為8.793ns, B圖中Tr為6.520ns,雖有差異,但均是符合Js001的測試規(guī)范。
對比了兩塊測試板的通道位置的距離,A板是跨通道板走線稍長,B板則是在同一通道板走線較近一些,所以這個Tr的不同也可以理解,懷疑是芯片對Tr是比較敏感的,所以果斷通過TLP測試的驗證。
圖A
圖B
如圖TLP-A,TLP-B
可以清楚地看出,在圖TLP-A 上升沿采用的是10ns,結果2.7A還沒有出現(xiàn)失效,但是在圖TLP-B中,上升沿采用的是2ns,結果1.6A就出現(xiàn)了失效;
所以經(jīng)過折算到HBM來看,此兩次測試的HBM結果不同,結論是因為芯片對靜電的上升沿非常敏感導致。
圖TLPA
圖TLPB
季豐電子
季豐電子成立于2008年,是一家聚焦半導體領域,深耕集成電路檢測相關的軟硬件研發(fā)及技術服務的賦能型平臺科技公司。公司業(yè)務分為四大板塊,分別為基礎實驗室、軟硬件開發(fā)、測試封裝和儀器設備,可為芯片設計、晶圓制造、封裝測試、材料裝備等半導體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領域公司提供一站式的檢測分析解決方案。
季豐電子通過國家級專精特新“小巨人”、國家高新技術企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術中心、研發(fā)機構、公共服務平臺等企業(yè)資質認定,通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ANSI/ESD S20.20等認證。公司員工近1000人,總部位于上海,在浙江、北京、深圳、成都等地設有子公司。
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原文標題:技術分享 | ESD HBM測試差異較大的結果分析
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