晶圓廠簡介
晶圓廠是生產硅片,集成電路就是在晶圓上以各種工藝生產的。晶圓廠也可以生產電路,晶圓生產好集成電路后要切割和封裝,封裝就是將生產,切割好的集成電路引線,加外殼供用戶使用。晶圓廠的英寸指它生產的集成電路的硅片的尺寸,越大其生產出的集成電路越多,其單個的成本越低,當然也越難生產。因為尺寸增加一倍(直徑),面積增加四倍。同樣的工藝流程和時間,產出就增加四倍。
晶圓廠工作環境分析
并不是想要討論晶圓廠是否能創造工作機會,而是想了解在鄰近晶圓廠之處擁有設計/工程團隊的價值;意法半導體(STMicroelectronics,ST)位于Rousset的晶圓廠就是一個例子,該公司微控制器暨數位IC事業群(MDG)策略規劃總監Jean-ClaudeNataf告訴我,Rousset生產線目前滿載產量為每周9,000片晶圓,公司的工程團隊經理與晶圓廠的工作人員,以彼此之間能快速互動回饋而自豪。
另一個例子是法國格勒諾布爾/里昂(Grenoble/Lyon)區域正快速崛起的影像技術產業聚落;市場研究機構YoleDeveloppement分析師PierreCambou解釋,影像技術的創新通常會需要制造技術的演進,而反過來也能建立一個技術驅動的環境。根據市場消息,有十幾位Apple的工程師遷移到Grenoble成立了一個研發中心,這正是因為該區域有影像感測器專家,也有半導體制造──以ST為首;Canbou表示:“你需要有晶圓廠,”才能形成產業生態系統。
以上的例子清楚顯示,并不一定要節省制造部門的人力;他們證明了在研究人員、設計者、工程師、技術人員、晶圓廠營運者以及管理階層之間的密切聯系,能產生具建設性與創造性的交互作用。
原本認為,半導體產業發展歷史告訴我們,那些轉向“輕晶圓廠”(fab-lite)業務模式,以及對無晶圓廠運動抱持質疑態度的后進者,終究會被自家晶圓廠的壓得喘不過氣;晶片制造生產線需要持續的大量投資才能維持現狀,再加上晶片產業很容易受到高低起伏的市場周期影響。簡而言之,包括我自己在內的產業觀察者,一直有個結論是除了英特爾(Intel)與三星(Samsung),晶圓廠對現今大多數半導體廠商來說都是沉重的負擔。
在造訪Rousset時,還婉拒了ST要帶我參觀8吋晶圓廠的邀請──有點懶得換上無塵衣,總覺得晶圓廠不就是都長那樣?但我錯了…ST事業群副總裁暨微控制器部門的總經理MichelBuffa做了一次很棒的響導,改變了我對晶圓廠的偏見;我很慶幸我后來還是參觀了晶圓廠。
那時Buffa問我有沒有看過SMIF…。我沒有,而且我老實對他說我不知道那是什么;所謂的SMIF是標準機械介面(StandardMechanicalInterface)的縮寫,是一種專為半導體晶圓廠與無塵室環境開發的隔離技術,SMIF晶圓盒(pod)能與制造設備上的自動化機械介面對接;而因為SMIF晶圓盒內的8吋晶圓片是保存于經過謹慎控制的設定環境,ST能讓整個Rousset晶圓廠保持在class1000的高等級。
ST的晶圓廠導覽員還解釋該公司如何要求管理人員定期巡視Rousset晶圓廠的生產線;管理者需要親眼看到實際操作,與作業員交談,并參與“chantier”會議──這種會議參與者包括作業員、技術人員以及管理人員,共同討論生產線上以及作業區遭遇的問題并解決問題。
當然,包括我美國同事在內的矽谷老資格們,可能會覺得這座晶圓廠的制程技術太舊,才用150納米到80納米技術,又沒有FinFET、7納米,甚至連14納米都沒有…但這就是Rousset晶圓廠的價值所在,因為ST的業務鎖定EEPROM與大量市場的MCU,并非智慧型手機用的應用處理器,MCU的產品生命周期很長。
晶圓廠有沒有輻射
半導體晶圓廠主要生產的產品是半導體晶體棒或是半導體晶片。常見的有硅片、鎵砷片、銦磷片等等。其主要原料是含有上述元素的化合物,比如二氧化硅、氧化砷等等。至于毒性,要具體分析。原料上,二氧化硅并沒有毒,但是粉末狀的二氧化硅氣溶膠就會引起塵肺和肺癌,就是有毒的。另外,半導體廠常用的摻雜原料多數有毒,比如硅烷、砷烷等,或是三甲基鎵等等化合物。它們或直接是劇毒物質,或其與空氣、水等反應后生成的物質有毒。另外,傳統生產晶圓的廠,會對晶體棒進行切割,其加工過程中產生的粉末也是有害的,原理和粉塵差不多。
關于輻射、據我了解,半導體晶圓廠的輻射并不大。輻射分為電磁輻射和電離輻射。電磁輻射,通電的電線就會有輻射,但是一般能量很小,不會有任何影響。電離輻射,比較危險,但晶圓廠似乎用不到吧。頂多X射線探傷用一下?這個我不確切知道。
總之,半導體相關行業有毒的多,但嚴格執行規章、正確操作設備,是完全安全的。一般生產設備都有嚴格的防護措施,廢棄物有后處理工藝。
晶圓廠環境害員工罹癌?三星否認且進行研究
根據業界消息,三星電子(SamsungElectronics)已委托第三方機構,在自家半導體工廠進行一項健康與安全性獨立研究;采取此舉動的原因,是有多個韓國勞工團體發動了大規模的抗議,要求三星對因工作而罹患癌癥、甚至死亡的員工與家屬提供賠償。一篇美聯社的報導指出,三星所委托進行的研究預計期間為一年,將由顧問機構EnvironInternational的職業健康與安全專家所組成的獨立小組負責;不過該報導并未提及研究所需費用的相關信息。
據了解,數個韓國勞工團體在1月份時就向韓國政府有關當局提出控訴,指由于三星晶圓廠員工因長期曝露在廠區的輻射與苯(benzene)等化學藥劑中,導致罹患血癌與淋巴癌等疾病。但三星始終撇清責任,否認該公司廠房有使用苯化學物,也舉出過去的研究澄清,并沒有證據顯示其職場工作環境與員工罹病有關聯性。
另一篇路透社的報導則指出,三星部分員工所工作、并導致罹患疾病的芯片制造生產線,后來已經改成芯片測試與LED生產線。
「我們已經召集了一個成員包含國際知名專家的研究小組,以確保此次研究的客觀與透明化;」報導引述了三星內存部門總經理ChoSoo-in的聲明:「我們也會確保此次研究的程序涵蓋所有與三星半導體制造廠房有關的安全性議題。」接下來三星也將與來自學術研究機構的專家們針對研究結果進行檢討。
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