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光刻機是干什么用的

工程師 ? 來源:未知 ? 作者:姚遠香 ? 2019-03-14 14:12 ? 次閱讀

首先我們來看一個最簡單的電路,就是下面這張圖,里面是一個電池、一個開關、一個燈泡,用電線連起來之后就是一個簡單電路。對于一個哪怕沒有上過物理課的人,只要給他材料,簡單教他一下,他就可以搭建出來這個電路。

上面這個是最簡單的電路,那么我們現在使用的芯片中的電路跟上面這個最簡單的電路有什么本質的不同嗎?實際上沒有。當我們通過放大鏡一點一點放大芯片中的電路的時候就會發現【如圖所示】,這些電路跟上面的這個電路沒有什么本質的區別。

為了達到這個目的,我們就要提到兩種物質,金屬和光刻膠。這兩種物質有一點特性是相反的:光刻膠是一種膠狀物質,可以被光線侵蝕掉,但是化學物質沒有辦法侵蝕;金屬是沒法用光線侵蝕,但是化學物質卻可以腐蝕掉它。

所以說,這兩種物質還有他們的奇特性質讓科學家找到了靈感:我在金屬表面放上覆蓋上一層光刻膠,然后通過一定形狀的光線去照射,那些被光線照射到的光刻膠就消失了,然后再用化學物質腐蝕,那么電路的形狀不就自動出來了嗎?

以上的道理,就是制造芯片的基本原理【如下面的動圖所示】。

***是干什么用的

而***的作用,顧名思義,就是“用光來雕刻的機器”。是用來實現上面說到的“光線侵蝕光刻膠”的目的的。

所以說,***就是把很大的電路圖,通過透鏡縮小到芯片那么大,然后用光線侵蝕掉光刻膠,達到自動形成電路的目的【如下圖所示】。

***是干什么用的

所***是非常復雜的機械,目前最厲害的***生產商就是荷蘭的ASML,他們現在已經能夠生產刻出5nm線路的***了——這些機器的價格可以達到可怕的一億美元一臺,甚至于你出得起這個錢人家還不一定有這個貨。下面圖就是ASML***中使用的著名光學儀器生產商蔡司生產的透鏡,從這個透鏡的復雜程度上我們就可以看出來***是一種多么精密的儀器了。

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