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隨著近代光學、電子學的發展和各種新穎光源（激光、紅外光等）相繼出現，電磁波測距技術得到迅速的發展，出現了以激光、紅外光和其他光源為載波的光電測距儀和以微波為載波的微波測距儀。因為光波和微波均屬于電磁波的范疇，故它們又統稱為電磁波測距儀。
由于光電測距儀不斷地向自動化、數字化和小型輕便化方向發展，大大地減輕了測量工作者的勞動強度，加快了工作速度，所以在工程控制網和各種工程測量中，多使用各種類型的光電測距儀。
光電測距儀按儀器測程大體分三大類：
（1）短程光電測距儀：測程在 3km 以內，測距精度一般在 lcm 左右。這種儀器可用來測量三等以下的三角鎖網的起始邊，以及相應等級的精密導線和三邊網的邊長，適用于工程測量和礦山測量。這類測程的儀器很多，如瑞士的 ME3000，精度可達±（0.2mm+0.5 ×10-6 D ）；DM 502、 DI3S、DI4，瑞典的 AGA-112、AGA-116，美國的 HP3820A，英國的 CD6，日本的 RED2，SDM3E，原西德的 ELTA 2，ELDI2 等，精度均可達±（5mm+5×10-6 D ）；原東德的 EOT 2000，我國的 HGC-1、DCH-2、DCH3、DCH-05 等。
短程光電測距儀，多采用砷化鎵（GaAs 或 GaAlAs）發光二極管作為光源（發出紅外熒光），少數儀器也用氦-氖（He-Ne）氣體激光器作為光源。砷化鎵發光二極管是一種能直接發射調制光的器件，即通過改變砷化鎵發光二極管的電流密度來改變其發射的光強。
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