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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>自制集成皮拉尼真空傳感器系統(tǒng)在半導(dǎo)體加工設(shè)備中的應(yīng)用

      自制集成皮拉尼真空傳感器系統(tǒng)在半導(dǎo)體加工設(shè)備中的應(yīng)用

      2018-02-09 | rar | 1.46 MB | 次下載 | 6積分

      資料介紹

      　　真空技術(shù)廣泛應(yīng)用于當(dāng)今的工業(yè)體系，尤其在半導(dǎo)體工業(yè)中不可或缺，可以毫不夸張地說，半導(dǎo)體工業(yè)就是建立在真空環(huán)境下的一門物理、化學(xué)相結(jié)合的工業(yè)。大連理工大學(xué)半導(dǎo)體集成電路實驗室擁有多臺集成電路加工設(shè)備，在這些半導(dǎo)體加工設(shè)備中，都是采用真空傳感器來完成真空度的測量。這些真空傳感器都是進(jìn)口產(chǎn)品，廠家只能提供給半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商而不能直接出售給學(xué)校，當(dāng)設(shè)備過了保修期之后，大學(xué)本身是很難購買到設(shè)備上所用的傳感器產(chǎn)品，非常不方便設(shè)備維護(hù)與維修‘-陽。所以高校實驗室的工作人員，有必要開發(fā)自主知識產(chǎn)權(quán)的真空傳感器。經(jīng)過多年的開發(fā)，本文已經(jīng)成功利用標(biāo)準(zhǔn)CMOS 工藝開發(fā)了皮拉尼真空傳感器系統(tǒng)，量程可以覆蓋10-～10-1 Pa，可以對腔室的真空度進(jìn)行測試。自制實驗設(shè)備不僅彌補(bǔ)了市售產(chǎn)品的限制，同時也培養(yǎng)和鍛煉了高校實驗技術(shù)人員隊伍，充實了產(chǎn)學(xué)研的合作內(nèi)容，是雙師型教師培養(yǎng)的重要途徑。

      自制集成皮拉尼真空傳感器系統(tǒng)在半導(dǎo)體加工設(shè)備中的應(yīng)用

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