介紹了D07 系列流量控制器的工作原理以及Pro tel DXP 在質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品開發(fā)中的應(yīng)用。 提出了用Pro tel DXP 進(jìn)行原理圖設(shè)計(jì)、仿真分析、印刷電路板設(shè)計(jì)的一體化解決方案。 最后通過一個(gè)應(yīng)用實(shí)例給出了印制板的設(shè)計(jì)流程、設(shè)計(jì)規(guī)則及注意事項(xiàng).

　　本文所設(shè)計(jì)的D07 系列流量控制器屬于一種工業(yè)自動(dòng)化儀表， 可以對(duì)各種氣體進(jìn)行精確的測量和控制， 大量應(yīng)用于半導(dǎo)體及集成電路生產(chǎn)線上的擴(kuò)散、氧化、外延、CVD 等離子刻蝕等工序設(shè)備中。 目前的設(shè)計(jì)方法主要是采用傳統(tǒng)的Pr otel 設(shè)計(jì)、制版、焊接和調(diào)試， 各個(gè)環(huán)節(jié)分步進(jìn)行， 設(shè)計(jì)效率低， 可靠性差， 故障檢測困難。 采用Protel DXP 一體化方法可以將上述各個(gè)設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)一次完成， 極大地提高了設(shè)計(jì)效率和可靠性， 有很好的推廣價(jià)值.

　　如圖1 所示， 數(shù)字流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥和放大控制電路板等部件組成。 氣體通過質(zhì)量流量控制器時(shí)， 大部分氣體通過分流器， 僅有少量氣體流過流量傳感器。 分流器由很多細(xì)管粘接而成， 作用是使氣體通過時(shí)處于層流狀態(tài)， 保證通過分流器的氣體與通過傳感器的氣體成一定比例。 流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理， 如圖2 所示。 當(dāng)無氣體通過傳感器的傳感管時(shí)， 惠斯頓電橋上下游電阻相等， 輸出的電壓信號(hào)為零; 當(dāng)有氣體通過傳感管時(shí)， 氣體將傳感管上游的熱量帶到下游， 上下游溫度的變化會(huì)使傳感管上下游的熱敏電阻絲阻值發(fā)生改變， 從而可以使電橋輸出與流量相關(guān)的電壓信號(hào).