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平板顯示已經(jīng)成為人們?nèi)粘Ｉ钆c生產(chǎn)中不可或缺的必需品之一。其產(chǎn)業(yè)地位、技術(shù)含量
以及對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的帶動(dòng)作用，已經(jīng)可與集成微電子學(xué)的地位相比擬，成為新興的產(chǎn)業(yè)和學(xué)
科。它的技術(shù)或?qū)W科基礎(chǔ)，是以薄膜晶體管（TFT）為單元的大面積薄膜微電子學(xué)。圖1 示出[1]
以晶體管為基本器件單元的微電子技術(shù)的發(fā)展歷程與以薄膜晶體管為基本概念的技術(shù)發(fā)展歷程
的比較。該圖清晰看出兩者起步的時(shí)間相隔并不遙遠(yuǎn)。然而薄膜材料與器件技術(shù)的難度，使得
它進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化的時(shí)間，卻比晶體硅集成電路的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展歷程要艱難得多。
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