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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>機(jī)械電子>磷吸雜工藝研究

磷吸雜工藝研究

2009-03-07 | rar | 211 | 次下載 | 10積分

資料介紹

磷吸雜在晶體管芯片制造過程中對(duì)改善芯片表面態(tài)堯減少漏電流等起著重要作用,文中確定了方塊電阻為6-8贅/陰淵歐姆/方塊冤的磷吸雜工藝條件,并對(duì)過程的相關(guān)影響因素進(jìn)行分析和探討,同時(shí)提出了解決方法。
關(guān)鍵詞 磷吸雜 晶體管 芯片制造 工藝
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