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微型超聲波電機并不是什么新鮮的技術，它已經有了三十多年的歷史。超聲電機的本質是利用壓電效應，通過電機部件的超聲波振動，將電能轉化為動能的電動馬達，和傳統電磁電機有著驅動原理上本質的不同。
超聲波電機研究均是設計以不同的方式獲得屈曲彈性波的橢圓運動，應用超聲波電機的屈曲彈性波可分兩類：
1.駐波型超聲波電機，此種型式的超聲波電機其轉子被振動子的末端所驅動。
2.行進波型超音波馬達，此種型式的超聲波電機其轉子是由一沿著特定方向傳遞前進的行進波所驅動。雖然駐波型式的超聲波電機具有較高的機電轉換效率，然而由于行進波型式之超聲波電機，可以瞬間改變方向，且體積、重量等在設計上較具彈性，故在一般應用上以行進波型超聲波電機為主。
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