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激光干涉儀測(cè)量機(jī)床精度之線性測(cè)量

2022-12-12 | docx | 0.43 MB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可以輸出高精度、抗擾力強(qiáng)、高穩(wěn)定性的激光頻率。其線性測(cè)量可滿足(0?80)m范圍內(nèi)的精密測(cè)量,主要應(yīng)用于測(cè)量直線導(dǎo)軌的定位精度、重復(fù) 定位精度和反向間隙等。

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