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摘要：隨著直線電機和直接驅(qū)動技術(shù)的發(fā)展，直線電機及直接驅(qū)動技術(shù)已經(jīng)廣泛應用于電子生產(chǎn)設(shè)備和精密數(shù)控機床領(lǐng)域。其低慣性矩、高加速度、高速度的特點提高了電子生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，滿足了從晶圓到集成電路以及PCB組裝日益增長的生產(chǎn)需要。
傳統(tǒng)的光柵編碼器在數(shù)控和伺服領(lǐng)域得到的了廣泛的應用，但在直線電機和直接驅(qū)動領(lǐng)域受到了來自美國GSI集團公司MicroE光柵編碼器的挑戰(zhàn)。MicroE光柵編碼器具有抗電磁干擾能力強、高速度、小尺寸和使用靈活方便的優(yōu)勢，近年來在直線電機和直接驅(qū)動應用領(lǐng)域被廣泛采用。
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