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近幾年來，隨著工業(yè)進(jìn)步人類已朝向奈米科技發(fā)展，精密定位是工業(yè)科技中不可缺少一項(xiàng)技術(shù)，這幾年來精密定位控制中，其實(shí)現(xiàn)控制器中都是采用個人計(jì)算機(jī)作為控制器(PC Based Control)，而少數(shù)采用單芯片作為控制器(DSP Based Control)。本研究就是應(yīng)用單芯片來控制精密定位系統(tǒng)，所使用的單芯片是由TI所生產(chǎn)的TMS320C542訊位訊號處理器(DSP)，透過內(nèi)存的存取及AD/DA之轉(zhuǎn)換，進(jìn)而控制精密定位系統(tǒng)，最后，控制精度可達(dá)30nm。
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