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      電子發燒友網>電子資料下載>電子元器件應用>基于LTCC工藝的數字三軸加速度傳感器的研制

      基于LTCC工藝的數字三軸加速度傳感器的研制

      2010-07-26 | rar | 274 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      將微機械加工工藝與混合集成技術相結合，設計并制作了具有R義22標準接口的數字三軸加速度傳感器。采用低溫共燒陶瓷(LTCC)工藝將敏感元件、信號調理電路、模數轉換電路和接口電路集成于一體，集成后的體積為45mmx45Inln x15mm，實現了傳感器的數字化、小型化和模塊化，并大大提高了系統的測量精度和可靠性。
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