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在之前的文章中，對射頻大氣壓輝光放電已經有所介紹，那么，如果在射頻放電中，將放電的間隙進一步縮小到微等離子體尺度內，即為1mm左右，乃至到了幾百微米的量級，射頻微等離子體又會出現哪一些新的特點呢？接下來我們與大家共同探討。
如下圖所示，是在相同的電流下，射頻微等離子體鞘層區與等離子體區的分布比例。在給定電流密度0.06A/cm2，當放電間隙逐漸增加，實驗與計算均表明鞘層開始逐漸增加，而當極板間隙增加超過500μm后，鞘層厚度幾乎保持在215μm不變。而對于等離子體區的厚度，其從100μm到900μm一直在單調增加。
通過上圖我們可知，當放電間隙小于500μm時，放電等離子體由傳統的輝光放電結構轉化為一種鞘層主導的結構，即鞘層成為放電空間的主要部分。同時，數值模擬還表明，在鞘層主導的放電結構中，整個放電空間失去了電中性，呈現為電正性，如下圖所示。
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