激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。廣泛應用于光學、機械、電子等各種領(lǐng)域的測量。其中，平行度和垂直度的測量是激光干涉儀的重要應用之一。

傳統(tǒng)的測量方法通常采用機械測量或光學測量，但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點，能夠?qū)崿F(xiàn)平行度和垂直度的高精度測量。

激光干涉儀平行度測量原理

平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調(diào)整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

平行度測量配置及應用

平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。

激光干涉儀垂直度測量原理

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調(diào)整；光學角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準直。垂直度誤差＝光學直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度測量配置及應用

垂直度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、垂直度鏡組（含光學直角尺）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。

總之，激光干涉儀是一種強大的測量工具，可以廣泛應用于各種領(lǐng)域的平行度和垂直度測量工作。它的出現(xiàn)為各種精密制造和科學實驗提供了強有力的技術(shù)支持。