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用直接隧道柵電流在線表征PMOSFET 負偏壓溫度不穩定性
賈高升許銘真
（北京大學微電子所 100871）
摘要
本文提出了一種在線表征負偏壓溫度不穩定性（NBTI，negative bias temperature
instability）退化的方法——直接隧道柵電流表征法（DTGCM，DT Gate Current Method）。用這種方法可以得到NBTI 應力誘生在超薄柵氧化層中的缺陷密度（包括氧化層體陷阱密度和界面態密度），并得到PMOSFET器件閾值電壓的漂移（ΔVth）信息。這種方法可以有效避免NBTI 恢復效應的影響。
關鍵詞 超薄柵氧化層，PMOSFET， 負偏壓溫度不穩定性(NBTI)， 退化， 恢復效應
賈高升許銘真
（北京大學微電子所 100871）
摘要
本文提出了一種在線表征負偏壓溫度不穩定性（NBTI，negative bias temperature
instability）退化的方法——直接隧道柵電流表征法（DTGCM，DT Gate Current Method）。用這種方法可以得到NBTI 應力誘生在超薄柵氧化層中的缺陷密度（包括氧化層體陷阱密度和界面態密度），并得到PMOSFET器件閾值電壓的漂移（ΔVth）信息。這種方法可以有效避免NBTI 恢復效應的影響。
關鍵詞 超薄柵氧化層，PMOSFET， 負偏壓溫度不穩定性(NBTI)， 退化， 恢復效應
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