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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是當(dāng)前一個發(fā)展極為迅速并涉及多個學(xué)科的領(lǐng)域。本文主要介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程，討論了它所采用的材料和加工技術(shù)、該技術(shù)涉及的各個學(xué)科，著重闡述了器件的具體分類、結(jié)構(gòu)組成、各類器件的具體特點及其在工程技術(shù)中的實際應(yīng)用，并指出其發(fā)展趨勢及對諸多領(lǐng)域的深遠(yuǎn)影響。
關(guān)鍵詞 MEMS 傳感器 執(zhí)行器 納米技術(shù) 工藝
Abstract ： MEMS is a fast developing field related to many
disciplines at present times. The origin and development
procedure of MEMS is mainly introduced in this paper, adopted
material, processing technology and related disciplines are
discussed, the classification,structure and features of device and
its practical application in engineering and technology are also
expounded in detail,and its developing tendency and profound
influence on many disciplines are also pointed out.
Key Words： MEMS Transducer Execute unit Nano
technology Technics
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