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論述了電子氣體輸送系統(tǒng)的各種技術(shù)現(xiàn)狀和特點(diǎn)，并就高純度、大流量、嚴(yán)格的安全
措施和大力降低建設(shè)成本四個(gè)方面預(yù)測(cè)了其發(fā)展趨勢(shì)。
關(guān)鍵詞： 電子氣體，特種氣體，大宗特氣，輸送系統(tǒng)，純度控制
1． 現(xiàn)狀
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過(guò)程中，全部工藝步驟超過(guò)450 道，其中大約要使用50 種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無(wú)二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的用氣點(diǎn)。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
措施和大力降低建設(shè)成本四個(gè)方面預(yù)測(cè)了其發(fā)展趨勢(shì)。
關(guān)鍵詞： 電子氣體，特種氣體，大宗特氣，輸送系統(tǒng)，純度控制
1． 現(xiàn)狀
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過(guò)程中，全部工藝步驟超過(guò)450 道，其中大約要使用50 種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無(wú)二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的用氣點(diǎn)。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
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