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研究振動輪式微機械角速度傳感器在4 Pa 到100 kPa 氣壓范圍內的振動特性。被測傳感器的直徑為1. 3mm , 厚度約30 Lm。用電容檢測技術測量其振動信號,以獲得傳感器幅頻、相頻特性。試驗得到了傳感器兩個振動模態的品質因數與氣壓的關系曲線, 發現了傳感器的非線性振動和模態耦合現象。彈簧的非線性彈性引起了非線性振動, 振動方向不正交及電信號耦合導致了振動耦合現象。試驗結果表明驅動梁為曲梁的傳感器與直梁傳感器相比, 驅動軸非線性振動特性大大降低。
微機械角速度傳感器是一種以微機械加工工藝制造的慣性傳感器, 用于測量運動物體相對于慣性空間的角速度。為了提高靈敏度, 這種傳感器在一定的真空度下工作。
文[ 1, 2 ]介紹了2 種不同的微角速度傳感器在102～ 105 Pa 范圍內振動品質因數與氣壓的關系曲線; 文[ 3 ]介紹了用激光干涉原理測量一種微角速度傳感器振動特性的方法, 測出了在不同氣壓下的振動品質因數, 并發現了“軟彈簧”振動現象。本文介紹對一種振動輪式傳感器在4～ 105 Pa 范圍內振動特性的測試方法和結果。
微機械角速度傳感器是一種以微機械加工工藝制造的慣性傳感器, 用于測量運動物體相對于慣性空間的角速度。為了提高靈敏度, 這種傳感器在一定的真空度下工作。
文[ 1, 2 ]介紹了2 種不同的微角速度傳感器在102～ 105 Pa 范圍內振動品質因數與氣壓的關系曲線; 文[ 3 ]介紹了用激光干涉原理測量一種微角速度傳感器振動特性的方法, 測出了在不同氣壓下的振動品質因數, 并發現了“軟彈簧”振動現象。本文介紹對一種振動輪式傳感器在4～ 105 Pa 范圍內振動特性的測試方法和結果。
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