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D為解釋電容式微加速度計(jì)閉環(huán)系統(tǒng)零點(diǎn)不惟一的
特殊現(xiàn)象=對其力學(xué)模型和電路特性進(jìn)行理論分析=推導(dǎo)了
閉環(huán)輸出Q零偏Q零偏重復(fù)性Q檢測盲區(qū)寬度等公式=建立新
的靜平衡模型H通過零偏與預(yù)載的關(guān)系實(shí)驗(yàn)=定量分析了零
偏不重合度Q零偏重復(fù)性等=并對實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行誤差分析H該
靜平衡模型揭示了動(dòng)齒的運(yùn)動(dòng)規(guī)律=證明檢測盲區(qū)寬度和零
偏重復(fù)性成正比=成功解釋了兩個(gè)零點(diǎn)問題H指出提高零偏
重復(fù)性指標(biāo)的方法=對于微機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)Q預(yù)載的選擇也
具有指導(dǎo)意義H
特殊現(xiàn)象=對其力學(xué)模型和電路特性進(jìn)行理論分析=推導(dǎo)了
閉環(huán)輸出Q零偏Q零偏重復(fù)性Q檢測盲區(qū)寬度等公式=建立新
的靜平衡模型H通過零偏與預(yù)載的關(guān)系實(shí)驗(yàn)=定量分析了零
偏不重合度Q零偏重復(fù)性等=并對實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行誤差分析H該
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偏重復(fù)性成正比=成功解釋了兩個(gè)零點(diǎn)問題H指出提高零偏
重復(fù)性指標(biāo)的方法=對于微機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)Q預(yù)載的選擇也
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