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運用共振隧穿雙勢壘（DBRT）結構中的一種壓阻效應原理—介觀壓阻效應，用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT結構薄膜作為敏感元件，設計了一個周邊固支平膜片結構的壓力傳感器。并對介觀壓阻和普通壓阻靈敏度的量級作出了比較，驗證了介觀壓阻效應原理，可以提高壓力傳感器的靈敏度，為制造基于介觀壓阻效應的新型超敏感型傳感器提供了一定的理論依據。
- Abstract:
- ?This paper used a piezoresistive effect meso-piezoresistive effectin a double-barrier resonant tunneling(DBRT)structure,took GaAs/AlAs/InGaAs DBRT film as core component,a pressure sensor with a film fixed around is designed.Grade of sensitivity are compared meso-piezoresistive with general,principle of meso-piezoresistive effects is verified,it can be inproved sensitivity of sensor to produced new micro-transducers based on meso-piezoresistive effect offers a new means.
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