電子發燒友App
創作
發文章
發帖 
提問 
發資料
發視頻資料介紹
計了一種具有單一檢測質量的力平衡式三軸微加速度計．采用硅一硅鍵合工藝形成作為單一檢測質量
塊的硅片組合，利用全差分電容檢測法實現對加速度三軸分量的檢測．通過提高檢測質量的重心，有效增加了x、y
軸的靈敏度．利用ANSYS仿真軟件對該微加速度計進行了模態及靜力學分析，提出了優化設計參數．3個檢測模態
(1階、2階和3階模態)的頻率分別為1．329 kHz、1．345 kHz和2．174 kHz．通過優化設計，提高了3階模態和4階
模態的頻率差距，降低了其他高階模態的干擾．在1009(g為重力加速度)的z向加速度作用下，懸臂梁所受的最
大應力為46 MPa，小于單晶硅的彎曲極限值70～200 MPa．靜力學分析表明，加速度計的懸臂梁結構參數能夠滿足
加速度計的力學性能要求．
塊的硅片組合，利用全差分電容檢測法實現對加速度三軸分量的檢測．通過提高檢測質量的重心，有效增加了x、y
軸的靈敏度．利用ANSYS仿真軟件對該微加速度計進行了模態及靜力學分析，提出了優化設計參數．3個檢測模態
(1階、2階和3階模態)的頻率分別為1．329 kHz、1．345 kHz和2．174 kHz．通過優化設計，提高了3階模態和4階
模態的頻率差距，降低了其他高階模態的干擾．在1009(g為重力加速度)的z向加速度作用下，懸臂梁所受的最
大應力為46 MPa，小于單晶硅的彎曲極限值70～200 MPa．靜力學分析表明，加速度計的懸臂梁結構參數能夠滿足
加速度計的力學性能要求．
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 微加速度計的原理與應用
- EVAL-ADXL327Z：三軸加速度計評估板
- UG-427：評估ADXL377三軸加速度計
- EVAL-ADXL335Z：三軸加速度計評估板
- EVAL-ADXL325Z：三軸加速度計評估板
- UG-242：三軸加速度計評估板
- 新型三軸電容式加速度計的設計分析
- 基于Ansys的壓電式加速度計模擬分析 44次下載
- 復合量程微加速度計動態特性分析 0次下載
- 電容式、隧道式加速度計檢測技術研究
- 三維MEMS加速度計的測試方法
- 微加速度計在惡劣環境下的可靠性
- 三維MEMS加速度計的性能測試方法與分析
- 基于微加速度計的AIR MOUSE的研究
- 梳齒式微機械加速度計靜態模型的辨識
- e2studio開發三軸加速度計LIS2DW12(4)----測量傾斜度 678次閱讀
- MEMS加速度計中的振動校正 2901次閱讀
- 如何使用加速度計提高傾角測量的準確性 3364次閱讀
- MEMS加速度計性能成熟 1451次閱讀
- ADXL345三軸數字加速度計的驅動設計與實現 8093次閱讀
- 如何推導電容式MEMS加速度計中使用的傳遞函數 3078次閱讀
- 如何擴展MEMS加速度計的帶寬 4228次閱讀
- 加速度計的安裝方法分享 5489次閱讀
- 九軸傳感器之加速度計是怎么回事 2889次閱讀
- digilent三軸MEMS加速度計傳感模塊介紹 2792次閱讀
- digilentPmodACL三軸加速度計介紹 2296次閱讀
- LIS33DE三軸加速度計的特點性能分析 4547次閱讀
- 關于一種帶數?；旌陷敵龅?b class="flag-6" style="color: red">加速度計系統的設計和驗證 4577次閱讀
- MEMS加速度計是什么 加速度計工作原理 2.7w次閱讀
- 基于ARM和FPGA的微加速度計數據采集系統設計 1360次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1DC電源插座圖紙
- 0.67 MB | 2次下載 | 免費
- 2AN158 GD32VW553 Wi-Fi開發指南
- 1.51MB | 2次下載 | 免費
- 3AN148 GD32VW553射頻硬件開發指南
- 2.07MB | 1次下載 | 免費
- 4AN111-LTC3219用戶指南
- 84.32KB | 次下載 | 免費
- 5AN153-用于電源系統管理的Linduino
- 1.38MB | 次下載 | 免費
- 6AN-283: Σ-Δ型ADC和DAC[中文版]
- 677.86KB | 次下載 | 免費
- 7SM2018E 支持可控硅調光線性恒流控制芯片
- 402.24 KB | 次下載 | 免費
- 8AN-1308: 電流檢測放大器共模階躍響應
- 545.42KB | 次下載 | 免費
本月
- 1ADI高性能電源管理解決方案
- 2.43 MB | 450次下載 | 免費
- 2免費開源CC3D飛控資料（電路圖&PCB源文件、BOM、
- 5.67 MB | 138次下載 | 1 積分
- 3基于STM32單片機智能手環心率計步器體溫顯示設計
- 0.10 MB | 130次下載 | 免費
- 4使用單片機實現七人表決器的程序和仿真資料免費下載
- 2.96 MB | 44次下載 | 免費
- 53314A函數發生器維修手冊
- 16.30 MB | 31次下載 | 免費
- 6美的電磁爐維修手冊大全
- 1.56 MB | 24次下載 | 5 積分
- 7如何正確測試電源的紋波
- 0.36 MB | 17次下載 | 免費
- 8感應筆電路圖
- 0.06 MB | 10次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935121次下載 | 10 積分
- 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關降壓/升壓雙向直流/直流轉換器 PCB layout 設計
- 1.48MB | 420062次下載 | 10 積分
- 3Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233088次下載 | 10 積分
- 4電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191367次下載 | 10 積分
- 5十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183335次下載 | 10 積分
- 6labview8.5下載
- 未知 | 81581次下載 | 10 積分
- 7Keil工具MDK-Arm免費下載
- 0.02 MB | 73810次下載 | 10 積分
- 8LabVIEW 8.6下載
- 未知 | 65988次下載 | 10 積分
工商網監
評論