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      標簽　>　DUV

      DUV

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      duv就是深紫外光，主要是指波長小于i-line365nm的紫外光，一般工業上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學增幅型的光刻膠。

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      DUV百科

      　　duv就是深紫外光，主要是指波長小于i-line365nm的紫外光，一般工業上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學增幅型的光刻膠。

      　　duv主要利用光的折射原理。其中，浸沒式光刻機會在投影透鏡與晶圓之間，填入去離子水，使得193nm的光波等效至134nm。

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      duv知識

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      duv技術

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      DUV是深紫外線（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是極深紫外線（Extreme Ultraviolet Lithogr...

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      duv資訊

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      美國要求荷蘭ASML進一步限制DUV***出口到中國

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      各種光刻技術你都了解嗎？

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      ASML：7nm高端DUV***仍可向中國出口！

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      2023-09-04 標簽：光刻機ASMLDUV 2077 0

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      ASML：年底前可以向中國出貨受限芯片制造設備

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      2023-09-01 標簽：光刻機ASMLDUV 820 0

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