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標簽 > MEMS工藝
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村田發布了一款新的6軸MEMS慣性傳感器SCH16T-K01
據麥姆斯咨詢報道,綜合電子元器件全球制造商村田(Murata)近日發布了一款新的6軸MEMS慣性傳感器SCH16T-K01,可實現高精度機器控制和定位應用。
MEMS制程各工藝相關設備的極限能力又是限定器件尺寸的關鍵要素,且其相互之間的配套方能實現設備成本的最低;下面先簡要介紹一下前段制程的特點及涉及的設備。
TFT-LCD是將微電子技術與液晶顯示器技術巧妙結合的一種技術
IMOD的像素制作,大部分基于普通TFT實驗室的整體工藝步驟,包括等離子增強化學氣相沉積(PECVD)和磁控濺射沉積,光刻圖案化,干法和濕法刻蝕,但是仍...
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