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DUV

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duv就是深紫外光，主要是指波長小于i-line365nm的紫外光，一般工業(yè)上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學(xué)增幅型的光刻膠。

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DUV與EUV***的芯片加工流程詳解

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DUV百科

　　duv就是深紫外光，主要是指波長小于i-line365nm的紫外光，一般工業(yè)上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學(xué)增幅型的光刻膠。

　　duv主要利用光的折射原理。其中，浸沒式光刻機會在投影透鏡與晶圓之間，填入去離子水，使得193nm的光波等效至134nm。

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duv知識

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芯片制造和傳統(tǒng)IC封裝的生產(chǎn)有何不一樣

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造光刻機需要哪些技術(shù)？

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擬推中國特供版DUV？ASML最新回應(yīng)

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ASML拒絕美要求禁止對華出售光刻機

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14nm + 14nm怎么才能達成“比肩”7nm 性能？

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電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/吳子鵬）近日，針對全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)廣泛關(guān)注的美國施壓ASML斷供中國DUV光刻機一事，ASML首席執(zhí)行官（CEO）溫彼得正式回應(yīng)稱，...

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荷蘭出新規(guī)！ASML部分DUV***將禁運，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展別無選擇

電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/吳子鵬）日前，有外媒報道稱，荷蘭貿(mào)易部部長最近在致荷蘭議會的一封信中宣布，基于國家安全考慮，荷蘭政府將在夏天之前對其芯片出口實施新...

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